快速退火爐RTP600
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 果果儀器科技（上海）有限公司
- 品牌 果果儀器
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/12/4 10:48:53
- 訪問次數(shù) 3906
產(chǎn)品標簽
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探針冷熱臺，半導(dǎo)體冷熱臺，光學(xué)冷熱臺，XRD原位測試冷熱臺，原位拉伸冷熱臺，拉伸臺，拉伸機冷熱臺，SEM冷熱臺，高低溫試驗箱，拉伸試驗機環(huán)境箱，光電力學(xué)測試系統(tǒng)。
與溫控技術(shù)、原位力學(xué)技術(shù)等相關(guān)的產(chǎn)品，如晶圓加熱系統(tǒng)、快速退火爐、高低溫試驗箱等，可為客戶提供個性化定制。
果果儀器RTP600快速退火爐：專為半導(dǎo)體高溫處理設(shè)計，支持500℃~1000℃范圍內(nèi)的氧化/擴散/快速退火工藝，采用雙層21×1kW高功率燈管，實現(xiàn)150℃/s極速升溫控制，通過水冷鋁質(zhì)外殼、石英內(nèi)腔確保溫度均勻性，兼容2~6英寸晶圓片，結(jié)合精密氣體控制提供高效解決方案。
快速退火爐RTP600特點：
• 控溫速率：最大升溫速率：150℃/s
• 載樣臺：2~6英寸圓形襯底石英載片臺
• 腔室可升級真空
• 高精度控溫
• 專業(yè)溫控軟件
• 支持定制
快速退火爐RTP600參數(shù)：
型號 | RTP600 | |
腔體 | 石英腔體 | |
溫控范圍 | 上下雙層加熱，最高溫度1000℃ | |
控溫速率 | 最大升溫速率：150℃/s | |
載樣臺 | 2~6英寸圓形襯底石英載片臺 | |
腔室 | 真空/氣氛 | |
功率 | 21kW | |
外形尺寸 | 534mm*608mm*272mm | |
凈重 | 42kg | |
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