F54-XY-200 Filmetrics 自動光學(xué)膜厚測量儀
- 公司名稱 優(yōu)尼康科技有限公司
- 品牌 KLA-Tencor
- 型號 F54-XY-200
- 產(chǎn)地 美國
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2025/9/23 14:13:21
- 訪問次數(shù) 2395
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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,生物產(chǎn)業(yè),電子/電池,航空航天,汽車及零部件 |
Filmetrics F54-XY-200 自動光學(xué)膜厚測量儀
Filmetrics 自動光學(xué)膜厚測量儀介紹：
Filmetrics F54-XY-200 自動光學(xué)膜厚測量儀借助光譜反射系統(tǒng)，可以測量尺寸達(dá)200 x 200mm樣品的薄膜厚度電動XY工作臺自動移動到選定的測量點(diǎn)并提供厚度測量，達(dá)到每秒兩點(diǎn)。您可以從數(shù)十種預(yù)定義的極性，矩形或線性測量坐標(biāo)圖案中選擇，也可以創(chuàng)建自己編輯的測量點(diǎn)數(shù)量。此桌面系統(tǒng)只需幾分鐘即可完成設(shè)置，任何具有基本計(jì)算機(jī)技能的人都可以使用。
Filmetrics 自動光學(xué)膜厚測量儀特點(diǎn)優(yōu)勢：
自動化薄膜厚度繪圖系統(tǒng)，快速定位、實(shí)時獲得結(jié)果；
可測樣品膜層：基本上所有光滑的。非金屬的薄膜都可以測量；
測繪結(jié)果可用2D或3D呈現(xiàn)，方便用戶從不同的角度檢視；
測量原理：
當(dāng)入射光穿透不同物質(zhì)的界面時將會有部分的光被反射，由于光的波動性導(dǎo)致從多個界面的反射光彼此干涉，從而使反射光的多波長光譜產(chǎn)生震蕩的現(xiàn)象。從光譜的震蕩頻率，可以判斷不同界面的距離進(jìn)而得到材料的厚度（越多的震蕩代表越大的厚度），同時也能得到其他的材料特性如折射率與粗糙度。
工業(yè)應(yīng)用：
半導(dǎo)體膜層 | 顯示技術(shù) | 消費(fèi)電子 | 派瑞林 |
光刻膠 | OLED | 防水涂層 | 電子產(chǎn)品/電路板 |
介電層 | ITO和TCOs | 射頻識別 | 磁性材料 |
砷化鎵 | 空氣盒厚 | 太陽能電池 | 醫(yī)學(xué)器械 |
微機(jī)電系統(tǒng) | PVD和CVD | 鋁制外殼陽極膜 | 硅橡膠 |
參數(shù)：
波長范圍： | 190nm-1700nm | 光源： | 鎢鹵素?zé)簟㈦疅?/span> |
測量nk值厚度要求*： | 50nm | 測量精度2： | 0.02nm |
準(zhǔn)確度*：取較大者 | 1nm或0.2% | 穩(wěn)定性3： | 0.05nm |
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