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SHD6-BE 全柜式涂膠顯影一體機(jī)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 合肥重光電子科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號(hào) SHD6-BE
  • 產(chǎn)地 合肥
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間 2025/10/13 13:34:46
  • 訪問次數(shù) 2299

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     合肥重光電子科技有限公司是一家專業(yè)從事儀器設(shè)備的生產(chǎn)商。針對(duì)國(guó)家大力扶持的太陽能電池和半導(dǎo)體等科技領(lǐng)域。

        我司有專業(yè)的檢測(cè)儀器和工藝實(shí)驗(yàn)設(shè)備,能夠滿足不同客戶的打樣和定制化需求。同時(shí)我司與中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)微納加工平臺(tái)、合肥工業(yè)大學(xué)微納加工平臺(tái)保持技術(shù)上的交流,能有效幫助客戶解決工藝問題。

        我司提供產(chǎn)品的定制化代工業(yè)務(wù),滿足客戶對(duì)自營(yíng)品牌的需求,讓客戶從而實(shí)現(xiàn)資產(chǎn)輕量化運(yùn)營(yíng)。

        ‍‍我司產(chǎn)品優(yōu)勢(shì):提供定制化服務(wù),滿足客戶多樣化需求,從而為客戶節(jié)約更多科研經(jīng)費(fèi)。其中低速勻膠平穩(wěn),結(jié)束低粘度光阻勻膠依賴進(jìn)口品牌。

 

 

 

勻膠、熱板、顯影、等離子、光刻設(shè)備

一、全柜式涂膠顯影一體機(jī)產(chǎn)品工作描述

1.1工藝步驟

涂膠(放片、滴膠、旋轉(zhuǎn)、取片)→烤機(jī)(放片、烘烤、取片)→轉(zhuǎn)移下道工序(曝光)→顯影(放片、旋轉(zhuǎn)顯影和水洗、甩干、取片)→(轉(zhuǎn)移下道工序)。

1.2控制系統(tǒng)

控制系統(tǒng)由7寸觸摸屏和PLC控制模式,實(shí)時(shí)顯示設(shè)備運(yùn)行過程中各工藝功能執(zhí)行情況。 可實(shí)現(xiàn)自由的配方編輯,自由修改、編輯、存儲(chǔ)、及調(diào)用工藝配方等。

二、全柜式涂膠顯影一體機(jī)規(guī)格

項(xiàng)目/Item

規(guī)格

主體

外觀:不銹鋼

模組:勻膠、熱板、顯影;

旋轉(zhuǎn)涂布模塊

轉(zhuǎn)速:20-5000 R.P.M

轉(zhuǎn)速精度: ±1 rpm

加速度:350-10000RPM/S

減速度:350-10000RPM/S

時(shí)間:1-3000S

均勻性:≤2%

控制方式: PLC

配方:50組20步

附件:無油真空泵

吸盤規(guī)格(10mm、25mm、2英寸、4英寸、6英寸以及嵌入式可選)

烤膠模塊

溫度范圍:RT~300℃

處理尺寸≤?200mm

溫度均勻性≤±1.5%

控溫精度±0.2℃

顯影參數(shù)

處理樣品尺寸:6寸以內(nèi)

承盤:特氟龍

轉(zhuǎn)速:20-3000 R.P.M

轉(zhuǎn)速精度:±1RPM

搖臂:自動(dòng)

藥液裝置:一路顯影、一路水

配方:可多步編程和程序存儲(chǔ)

附件:無油真空泵一臺(tái);

     吸盤一只(4、6寸兼容)

三、系統(tǒng)需求

項(xiàng)目

描述& 規(guī)格

系統(tǒng)需求

排風(fēng):160 m3/h

真空:>-60 Kpa

壓縮空氣:5kg

氮?dú)?:3kg

水4*6mm 2.0Kgf/cm2

電壓:220V\50HZ

四、設(shè)備尺寸

4.1尺寸&重量

參考尺寸:(寬*深*高)1600*800*2000mm  

重量: 300KG




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