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Tergeo桌面等離子清洗機(jī)

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韋氏納米(FIRSTNANO)是一家成立于2012年的德國公司,由三位材料學(xué)博士共同創(chuàng)辦?;凇?span style="padding: 0px; margin: 0px; list-style: none; font-size: 16px; color: rgb(255, 0, 0);">Science is international”的理念,三位創(chuàng)始人提出了“全球協(xié)同實驗室”的夢想,致力于推動全球科研合作與技術(shù)創(chuàng)新。韋氏納米專注于半導(dǎo)體技術(shù)、材料科學(xué)、生命科學(xué)等科研領(lǐng)域,始終秉持“前沿、專業(yè)、科學(xué)”的宗旨,將技術(shù)引入?yún)f(xié)同實驗室,助力科學(xué)家實現(xiàn)突破性研究。


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自2015年香港(中華區(qū))公司成立以來,韋氏納米在中國穩(wěn)步發(fā)展,相繼在香港、深圳、上海和武漢設(shè)立了分支機(jī)構(gòu),形成了覆蓋全國的科研服務(wù)網(wǎng)絡(luò)。我們的產(chǎn)品和服務(wù)涵蓋微納加工制程、材料科學(xué)的檢測與分析、生命科學(xué)成像、腦科學(xué)與行為認(rèn)知等領(lǐng)域,為全球科研工作者提供技術(shù)支持與解決方案。

韋氏納米的愿景是“從科學(xué)家到科學(xué)家,科學(xué)開創(chuàng)美好未來”。我們堅信,科學(xué)無國界,全球科研工作者應(yīng)攜手合作,共同推動人類科技進(jìn)步。韋氏納米不僅是一家科學(xué)儀器供應(yīng)商,更是全球科研生態(tài)的重要參與者。我們致力于通過“全球協(xié)同實驗室”的理念,將前沿技術(shù)與全球科研需求緊密結(jié)合,助力科學(xué)家實現(xiàn)更多研究成果。

韋氏納米匯聚了一支由高學(xué)歷、高素質(zhì)人才組成的國際化團(tuán)隊。我們的團(tuán)隊成員具備深厚的專業(yè)背景和豐富的行業(yè)經(jīng)驗。公司始終注重人才培養(yǎng)與引進(jìn),博士及碩士學(xué)歷人才占比超過70%。正是這支充滿激情與創(chuàng)造力的團(tuán)隊,推動韋氏納米在科研儀器領(lǐng)域不斷進(jìn)步,贏得了全球客戶的信任。

韋氏納米在中國設(shè)有完善的本地化服務(wù)體系,覆蓋售前、售中和售后全流程。我們在上海、深圳、武漢和香港均設(shè)有技術(shù)支持中心和樣機(jī)實驗室,為客戶提供及時響應(yīng)的技術(shù)支持和設(shè)備體驗。此外,我們還建立了高效的備件庫和物流體系,確保客戶能夠獲得所需的服務(wù)與支持。


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“不僅提供前沿的產(chǎn)品,更注重服務(wù)”是韋氏納米的核心價值。我們深知,科研儀器的價值不僅在于其技術(shù)性能,更在于其能否真正滿足科學(xué)家的研究需求。因此,我們始終以客戶為中心,致力于為每一位科研工作者提供定制化的解決方案。


公司愿景是從科學(xué)家到科學(xué)家,科學(xué)開創(chuàng)美好未來。

FIRSTNANO深耕于半導(dǎo)體技術(shù)、材料科學(xué)、生命科學(xué)等科研領(lǐng)域,始終秉承“前沿、專業(yè)、科學(xué)”的宗旨,將前沿技術(shù)引進(jìn)到協(xié)同實驗室。我們的產(chǎn)品覆蓋了微納加工制程;材料科學(xué)的檢測、分析;生命科學(xué)成像,腦科學(xué)與行為認(rèn)知等相關(guān)領(lǐng)域。作為全球科技前沿的儀器供應(yīng)商,FIRSTNANO具有全球技術(shù)視野、優(yōu)質(zhì)供應(yīng)體系、以及嚴(yán)格的質(zhì)量管控系統(tǒng),能為客戶提供前沿的技術(shù)解決方案。

公司服務(wù)的客戶領(lǐng)域廣泛,其中包括消費電子、航空、航天、醫(yī)藥技術(shù)、半導(dǎo)體行業(yè)、光電子行業(yè)、高校和研究機(jī)構(gòu)。

在成長的過程中,我們腳踏實地、奮勇向前。自2015年香港(中華區(qū))公司成立以來,我們一相繼在香港、深圳、上海和武漢設(shè)立了分支機(jī)構(gòu)。

我們真誠邀請業(yè)內(nèi)英才加入FIRSTNANO TEAM,一起為夢想揚帆起航!










半導(dǎo)體儀器和電子產(chǎn)品耗材耗材

Tergeo桌面等離子清洗機(jī)

Tergeo 等離子體系統(tǒng)-一種用于研發(fā)的等離子體蝕刻和清洗的經(jīng)濟(jì)高效的多功能解決方案。通過全自動系統(tǒng)控制確保一致、可重復(fù)的結(jié)果,Tergeo 系統(tǒng)可以產(chǎn)生各種等離子體,包括氧氣、氬氣、環(huán)境空氣、氮氣、氫氣、SF6、水蒸氣等,以有效去除碳?xì)浠衔锖蜔o機(jī)表面污染物。其先進(jìn)的功能不僅可以清潔和活化表面,還可以增強(qiáng)粘合強(qiáng)度,提高表面能,并使樣品親水,使其成為精確表面制備和改性的理想選擇

Tergeo桌面等離子清洗機(jī)


Tergeo桌面等離子清洗機(jī)規(guī)格和特點:

1. RF 功率系統(tǒng)

  • 頻率:13.56 MHz -在同等功率下,比低成本 kHz 等離子系統(tǒng)效率高 10 倍以上。

  • 功率輸出:可選擇 0-75 W 或 0-150 W,可通過配方設(shè)置以 1 W 的增量進(jìn)行調(diào)節(jié)。

  • 阻抗匹配:全自動優(yōu)化功率傳輸。

2.等離子體操作模式

  • 模式:

    • 連續(xù)模式:傳統(tǒng)的穩(wěn)態(tài)等離子體操作。

    • 脈沖模式:功能,可從 100%(連續(xù))到小于 1%的可調(diào)脈沖占空比,將等離子體強(qiáng)度動態(tài)范圍提高 100 倍。

  • 清潔技術(shù):

    • 高速直接模式:電容耦合放電的積極清潔。

    • 溫和的下游模式:感應(yīng)耦合放電更微妙的清潔應(yīng)用。

3.過程監(jiān)測和控制

  • 等離子體強(qiáng)度監(jiān)測:在蝕刻、灰化和清潔過程中進(jìn)行實時定量測量,以確保工藝穩(wěn)定性和可重復(fù)性。

  • 控制系統(tǒng):

    • 基于預(yù)設(shè)配方的全自動操作(可定制)。

    • 需要時可手動操作。

4.氣體輸送和腔室設(shè)計

  • 工藝氣體:與氧氣、氬氣、氫氣、氮氣、CF 氣體、SF 氣體、水蒸氣等兼容。

  • 氣體輸送:

    • 最多三個通道,帶質(zhì)量流量控制器(MFC)調(diào)節(jié)氣體輸入。

    • 用于大氣壓力排氣的附加排氣口。

  • 滅菌室:

    • 由石英構(gòu)成。

    • 內(nèi)徑:4.3 英寸(160 毫米)。深度:11 英寸(280 毫米)。

5.真空系統(tǒng)

  • 壓力傳感器:耐腐蝕鉑絲皮拉尼壓力計。

  • 真空泵選項:

    • 優(yōu)質(zhì)干式渦旋泵額定用于氧氣應(yīng)用。

    • 油泵內(nèi)充有惰性 PFPE 泵油,與氧氣相容。

6.用戶界面和遠(yuǎn)程支持

  • 接口選項:

    • 嵌入式 7 英寸 LCD 工業(yè)觸摸屏。

    • 基于 Windows PC 的界面。

  • 產(chǎn)品特點:

    • 全自動操作,集成配方控制。

    • 運行日志存儲以進(jìn)行進(jìn)程監(jiān)控。

  • 遠(yuǎn)程支持:

    • 自診斷功能和日志文件存儲,用于故障排除。

    • 必要時可從美國總部進(jìn)行遠(yuǎn)程控制訪問。

7.物理和電氣規(guī)格

  • 尺寸:450 mm(寬)× 250 mm(高)× 430 mm(深)。

  • 重量:約 45 磅(20 公斤)。

  • 電氣輸入:90-230 V AC,單相,10 A。

8.認(rèn)證

  • UL 61010-1:2012 R4.16

  • CAN/CSA-C22.2 61010-1-12+GI1+GI2(R2017)

  • IEC 61010-1:2010

  • CE 和 TüV Rheinland 品牌

  • NRTL 兼容

Tergeo桌面等離子清洗機(jī)典型應(yīng)用:

  • 引線鍵合、倒裝芯片封裝、器件封裝和解封裝

  • SEM/TEM 樣品清洗用于去除碳污染物和減少氧化物

  • 生物醫(yī)用涂層前的表面處理及提高醫(yī)用植入物的親水性

  • 環(huán)氧樹脂粘合前的光學(xué)、玻璃和基板清潔

  • 光致抗蝕劑灰化、除渣和硅晶片清洗

  • PDMS、微流體、載玻片和芯片實驗室

  • 改善金屬對金屬或復(fù)合材料的粘合

  • 改善塑料、聚合物和復(fù)合材料的粘合



Tergeo桌面等離子清洗機(jī)Tergeo桌面等離子清洗機(jī)





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