CY-MSH300-III-RFRFRF-SS 三靶磁控濺射鍍膜儀(射頻)
| 參考價 | ¥ 198000 |
| 訂貨量 | ≥1臺 |
- 公司名稱 鄭州成越科學儀器有限公司
- 品牌 CYKY
- 型號 CY-MSH300-III-RFRFRF-SS
- 產(chǎn)地 鄭州
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/11/17 14:01:52
- 訪問次數(shù) 256
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磁控濺射鍍膜儀,熱蒸發(fā)鍍膜儀,勻膠機旋涂儀,熔煉爐,涂布機,放電等離子燒結(jié)爐,靜電紡絲機,金剛石線切割機,RTP退火爐,晶體生長爐,管式爐,CVD氣相沉積,氣氛爐,馬弗爐,熱解噴涂,等離子清洗機,
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 10萬-30萬 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池,包裝/造紙/印刷,航空航天,制藥/生物制藥,汽車及零部件 |
CY-MSP300S-3RF三靶磁控濺射鍍膜儀(射頻)為我公司研發(fā)的實驗室專用鍍膜儀,設(shè)備可選配直流電源,和射頻電源,功率從500W-1000W不等,可用于制備單層或多層鐵電薄膜、導(dǎo)電薄膜、合金薄膜、半導(dǎo)體薄膜、陶瓷薄膜、介質(zhì)薄膜、光學薄膜等。
磁控濺射相較于普通的等離子濺射擁有能量高速度快的優(yōu)點,鍍膜速率高,樣品溫升低,是典型的高速低溫濺射。磁控靶配有水冷夾層,水冷機能夠有效的帶走熱量,避免熱量在靶面聚集,使磁控鍍膜能長時間穩(wěn)定工作。
設(shè)備經(jīng)過緊湊化設(shè)計,實現(xiàn)了體積與性能的平衡,造型美觀功能齊全。整機均采用觸控屏控制,內(nèi)置一鍵式鍍膜程序,操作簡單易上手,是一款實驗室制備薄膜的理想設(shè)備。
磁控鍍膜儀典型應(yīng)用:
• 科研領(lǐng)域:納米材料、薄膜器件、光學涂層等研究。
• 電子行業(yè):半導(dǎo)體、傳感器、導(dǎo)電薄膜制備。
• 教學演示:材料科學、真空技術(shù)實驗教學。
• 以下是磁控鍍膜儀的典型實用案例,涵蓋科研、工業(yè)及教學領(lǐng)域,體現(xiàn)其多功能性和廣泛應(yīng)用價值:
三靶磁控濺射鍍膜儀(射頻)技術(shù)參數(shù):
項目 | 明細 | |
產(chǎn)品型號 | CY-MSH300-III-RFRFRF-SS | |
供電電壓 | AC220V,50Hz | |
整機功率 | 4KW | |
系統(tǒng)真空 | ≦5×10-4Pa | |
樣品臺 | 尺寸 | φ140mm |
控溫精度 | ±1℃ | |
加熱溫度 | *高500℃ | |
轉(zhuǎn)速 | 1-20rpm可調(diào) | |
磁控濺射頭 | 數(shù)量 | 2” x3 (1”,2”可選) |
水冷機規(guī)格 | 10L/min流速的循環(huán)水冷機 | |
冷卻方式 | 水冷 | |
真空腔體 | 腔體尺寸 | Dia.300mm×300mm |
觀察窗口 | φ100mm | |
開啟方式 | 上頂開式 | |
腔體材料 | 不銹鋼 | |
質(zhì)量流量計 | 2路;量程100sccm;100sccm(可根據(jù)客戶需要定制多路氣路) | |
真空系統(tǒng)
| 產(chǎn)品型號 | CY-GZK103-A |
抽氣接口 | CF160 | |
分子泵 | CY-600 | |
排氣接口 | KF40 | |
前極泵 | 旋片泵 | |
真空測量 | 復(fù)合真空計 | |
極限真空 | 1.0E-5Pa | |
供電電源 | AC;220V 50/60Hz | |
抽氣速率 | 分子泵:600L/S 旋片泵:1.1L/S 綜合抽氣性能:20分鐘真空度可達: 1.0E-3Pa | |
電源配置 | 數(shù)量 | 射頻電源 x3 |
*大輸出功率 | 射頻電源500W | |
膜厚測量 | 可選配石英晶體膜厚儀,分辨率0.10 ? | |
控制系統(tǒng) | CYKY自研專業(yè)級控制系統(tǒng) | |
整機尺寸 | 600mm X 650mm X 1280mm | |
整機重量 | 300kg | |



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