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microPRO™ XS OCF 激光退火

具體成交價以合同協(xié)議為準

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岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司(Dymek Company Ltd ,下面簡稱岱美)成立于1989年,是一間擁有多年經(jīng)驗的高科技設(shè)備分銷商,主要為數(shù)據(jù)存儲、半導(dǎo)體、光通訊、高校及研發(fā)中心提供各類測量設(shè)備、工序設(shè)備以及相應(yīng)的技術(shù)支持,并與一些重要的客戶建立了長期合作的關(guān)系。自1989年創(chuàng)立至今,岱美的產(chǎn)品以及各類服務(wù)、解決方案廣泛地運用于中國香港,中國大陸(上海、東莞、北京),中國臺灣,泰國,菲律賓,馬來西亞,越南及新加坡等地區(qū)。


岱美在中國大陸地區(qū)主要銷售或提供技術(shù)支持的產(chǎn)品:

晶圓鍵合機、納米壓印設(shè)備、紫外光刻機、涂膠顯影機、硅片清洗機、超薄晶圓處理設(shè)備、光學三維輪廓儀、硅穿孔TSV量測、非接觸式光學三坐標測量儀、薄膜厚度檢測儀、主動及被動式防震臺系統(tǒng)、應(yīng)力檢測儀、電容式位移傳感器、定心儀等。


岱美重要合作伙伴包括有:

Thetametrisis, EVG, FSM, Opto-Alignment, Herz, PLSINTEC, Film Sense, Reditech, Lazin, Delcom, Microsense, Shb, boffotto, RTEC, Kosaka, Nanotronics, MTInc, 4D, Daeil, Microphysics,

n&k Technology, First Nano, Schmitt, LESCO, Otsuka, STI, Kurashiki, Ryokosha, SURAGUS, Westbond...


如有需要,請聯(lián)系我們,了解我們?nèi)绾伍_始與您之間的合作,實現(xiàn)您的企業(yè)或者組織機構(gòu)長期發(fā)展的目標。




膜厚儀,輪廓儀,EVG鍵合機,EVG光刻機,HERZ隔震臺,Microsense電容式位移傳感器

產(chǎn)地類別 進口 價格區(qū)間 面議
應(yīng)用領(lǐng)域 能源,電子/電池,航空航天,制藥/生物制藥,電氣 組成要素 半導(dǎo)體激光器產(chǎn)品及設(shè)備

用于歐姆接觸形成的高速紫外激光退火microPRO XS OCF 系統(tǒng)提供了一個多功能平臺,可實現(xiàn)高重復(fù)性和高吞吐量的激光退火。該系統(tǒng)將穩(wěn)定的激光光學模塊與3D-Micromac的模塊化處理平臺相結(jié)合,非常適合用于碳化硅(SiC)功率器件的歐姆接觸形成(OCF)。

microPRO XS OCF 采用紫外波長的二極管泵浦固體(DPSS)激光源,具備納秒脈沖和光斑掃描功能,可對SiC晶圓的整個金屬化背面進行處理。*的工藝程序和優(yōu)化的腔室布局減少了顆粒物的產(chǎn)生??蓡为氄{(diào)節(jié)的激光光斑輪廓,使得系統(tǒng)能夠處理不同材料成分的晶圓。

主要特點

  • 行業(yè)的前沿吞吐量(最高可達 22 WPH / 6英寸晶圓)

  • 優(yōu)異的方塊電阻(Rs)均勻性(δ < 1.1%)

  • 支持6英寸和8英寸晶圓無縫拼接處理——無需更換設(shè)備

  • 可處理超薄晶圓

  • 占地面積小

  • 自動化的光束穩(wěn)定功能

可選配置

  • 支持6英寸和8英寸晶圓處理

  • 面向生產(chǎn)應(yīng)用的自動超薄晶圓搬運與預(yù)對準功能

  • SECS/GEM 接口


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