RIE-601型反應(yīng)離子刻蝕機
- 公司名稱 深圳微儀真空技術(shù)有限公司
- 品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/10/31 15:48:01
- 訪問次數(shù) 20
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深圳微儀真空技術(shù)有限公司成立于2024年09月24日,注冊地位于深圳市寶安區(qū)松崗街道東方社區(qū)聯(lián)投東方世家花園1棟二單元2401,法定代表人為曹寧。經(jīng)營范圍包括半導(dǎo)體器件專用設(shè)備制造;真空鍍膜加工;泵及真空設(shè)備制造;專用儀器制造;集成電路設(shè)計;自然科學(xué)研究和試驗發(fā)展;貨物進(jìn)出口;技術(shù)進(jìn)出口;技術(shù)服務(wù)、技術(shù)開發(fā)、技術(shù)咨詢、技術(shù)交流、技術(shù)轉(zhuǎn)讓、技術(shù)推廣;電子專用設(shè)備銷售;人工智能應(yīng)用軟件開發(fā);租賃服務(wù)(不含許可類租賃服務(wù));實驗分析儀器制造;教學(xué)專用儀器制造;機械零件、零部件銷售;個人商務(wù)服務(wù)。(除依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目外,憑營業(yè)執(zhí)照依法自主開展經(jīng)營活動)
設(shè)備簡介:
RIE-601反應(yīng)離子刻蝕機為我司針對大學(xué)、研究院所、企業(yè)研發(fā)機構(gòu)等用戶的科研及教學(xué)需求定點開發(fā)的刻蝕設(shè)備,同時設(shè)備也支持小批量產(chǎn)品生產(chǎn)。
設(shè)備配備一臺射頻偏壓電源,置于下電極,包含自動匹配器。射頻偏壓電源將工藝氣體離化成等離子態(tài),并使等離子體向下刻蝕樣片。
設(shè)備上蓋配有噴淋式勻氣裝置,將工藝氣體均勻注入到腔體中。
設(shè)備技術(shù)參數(shù):
真空室尺寸:Φ370mm×H300mm
整機尺寸:L1300mm×W900mm×H1500mm
整機重量:650Kg
樣片大小及數(shù)量:φ6英寸樣片1片或散片多片
極限真空度:≤2×10-4Pa
系統(tǒng)漏率:≤5×10-7Pa·L/s
靜態(tài)升壓:系統(tǒng)停泵關(guān)機12小時后,真空度≤5Pa
抽氣速率:系統(tǒng)充干燥N2解除真空,短時暴露大氣后抽氣至5×10-3Pa≤15min
系統(tǒng)充干燥N2解除真空,短時暴露大氣后抽氣至9×10-4Pa≤30min
刻蝕不均勻性:≤±5%(φ6英寸范圍內(nèi))



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