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工作原理

產(chǎn)品特點(diǎn)

• 高效節(jié)能：采用優(yōu)良的螺桿轉(zhuǎn)子技術(shù)和優(yōu)化的模塊化設(shè)計(jì)，提高了抽氣效率，降低了能耗。如 EV-M 型和 EV-X200N 型號(hào)，均具備低能耗、輕量化和小型化的特點(diǎn)。

• 耐腐蝕性強(qiáng)：采用標(biāo)準(zhǔn)耐腐蝕材料制造，能耐受腐蝕性氣體。例如 EST25N 型號(hào)專為應(yīng)對(duì) CVD 等工藝中產(chǎn)生的化學(xué)副產(chǎn)物而設(shè)計(jì)，可保持泵內(nèi)氣體高溫，防止腐蝕性物質(zhì)凝結(jié)。

• 智能控制：部分型號(hào)具備智能控制功能，可根據(jù)工藝需求自動(dòng)調(diào)整抽氣速率，并通過通信功能與中央控制系統(tǒng)連接，實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程監(jiān)控和數(shù)據(jù)傳輸。

• 清潔無油：屬于無接觸真空泵，無需使用油或液體進(jìn)行密封，能實(shí)現(xiàn)清潔真空，避免了水和油的回流或擴(kuò)散，無需定期補(bǔ)充或更換水、油，維護(hù)方便。

產(chǎn)品系列

• EV-X 系列：具有低能耗、占地小的特點(diǎn)，通過大幅的溫度控制可實(shí)現(xiàn)大范圍的工藝覆蓋，能耐受腐蝕性氣體，適用于各種蝕刻以及 CVD、灰化、離子注入等工藝。

      EV-S 系列：是低功耗、小體積的干式真空泵，具有耐腐蝕材料選項(xiàng)和氮?dú)獯祾咝吞?hào)可選，適用于從負(fù)載鎖定和掃描電鏡等輕負(fù)載過程到腐蝕性過程的廣泛應(yīng)用。
      ESA 系列：適合抽取氫氣等輕氣體，以及大容量室的快速抽氣，在 LCD 濺射、真空干燥、大型 load-lock 等需要高速抽氣的場景表現(xiàn)出色。
      EST 系列：采用螺桿式轉(zhuǎn)子，配備高溫運(yùn)行功能，可將泵內(nèi)氣體保持在高溫，適合處理 CVD 等工藝中產(chǎn)生的反應(yīng)副產(chǎn)物，具有高排氣速度和大抽氣量。
      ESR 系列：為羅茨式真空泵，可選配適用于腐蝕性氣體的配置，采用新微處理器技術(shù)，具有泵速控制功能和優(yōu)良的數(shù)據(jù)存儲(chǔ)能力，適用于從輕制程 load locks、SEM 到各類腐蝕性的工藝等。

應(yīng)用領(lǐng)域