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工作原理

產(chǎn)品特點

• 高效節(jié)能：采用優(yōu)良的螺桿轉(zhuǎn)子技術和優(yōu)化的模塊化設計，提高了抽氣效率，降低了能耗。如 EV-M 型和 EV-X200N 型號，均具備低能耗、輕量化和小型化的特點。

• 耐腐蝕性強：采用標準耐腐蝕材料制造，能耐受腐蝕性氣體。例如 EST25N 型號專為應對 CVD 等工藝中產(chǎn)生的化學副產(chǎn)物而設計，可保持泵內(nèi)氣體高溫，防止腐蝕性物質(zhì)凝結。

• 智能控制：部分型號具備智能控制功能，可根據(jù)工藝需求自動調(diào)整抽氣速率，并通過通信功能與中央控制系統(tǒng)連接，實現(xiàn)遠程監(jiān)控和數(shù)據(jù)傳輸。

• 清潔無油：屬于無接觸真空泵，無需使用油或液體進行密封，能實現(xiàn)清潔真空，避免了水和油的回流或擴散，無需定期補充或更換水、油，維護方便。

產(chǎn)品系列

• EV-X 系列：具有低能耗、占地小的特點，通過大幅的溫度控制可實現(xiàn)大范圍的工藝覆蓋，能耐受腐蝕性氣體，適用于各種蝕刻以及 CVD、灰化、離子注入等工藝。

      EV-S 系列：是低功耗、小體積的干式真空泵，具有耐腐蝕材料選項和氮氣吹掃型號可選，適用于從負載鎖定和掃描電鏡等輕負載過程到腐蝕性過程的廣泛應用。
      ESA 系列：適合抽取氫氣等輕氣體，以及大容量室的快速抽氣，在 LCD 濺射、真空干燥、大型 load-lock 等需要高速抽氣的場景表現(xiàn)出色。
      EST 系列：采用螺桿式轉(zhuǎn)子，配備高溫運行功能，可將泵內(nèi)氣體保持在高溫，適合處理 CVD 等工藝中產(chǎn)生的反應副產(chǎn)物，具有高排氣速度和大抽氣量。
      ESR 系列：為羅茨式真空泵，可選配適用于腐蝕性氣體的配置，采用新微處理器技術，具有泵速控制功能和優(yōu)良的數(shù)據(jù)存儲能力，適用于從輕制程 load locks、SEM 到各類腐蝕性的工藝等。

應用領域