形式：φ650-3500mm,箱式一體機，立式前開門，蒸發(fā)室和抽氣室為整體焊接式，一體機系統(tǒng)。

真空系統(tǒng)：極限真空8X10-5Pa，主泵為復合分子泵/低溫泵/擴散泵可選。

真空測量：配三路數(shù)字復合真空計，均采用安全防爆金屬測量規(guī)。

工件架系統(tǒng)?？蛻粜枨蠖ㄖ?，轉速3～30rpm變頻可調，工件盤為球形和行星工件盤可選。

烘烤系統(tǒng)。不銹鋼鎧裝加熱器匹配數(shù)字功率控制器和PID控制模塊，烘烤溫度300℃，溫控精度1℃，過沖不超過2℃。

電子束蒸發(fā)源。E型電子束蒸發(fā)源系統(tǒng)(E型)1-2套，主體有屏蔽罩，配置獨立高壓控制柜。

旋轉蒸發(fā)源：電動轉位和點動轉位，配置無氧銅坩堝和石墨坩堝各一套。

電阻蒸發(fā)源：2套電阻蒸發(fā)源。（選配）

膜厚測試系統(tǒng)。配瑞士inficon石英膜厚在線測量系統(tǒng)， RS-232 和 USB兼容，匹配水冷膜厚探頭。

離子源輔助沉積系統(tǒng):一套（選配離子源或高壓離子轟擊系統(tǒng)）

控制系統(tǒng)：成熟可靠的真空鍍膜控制系統(tǒng)，工業(yè)級10英寸觸摸屏（工控機）和西門子PLC，能夠實現(xiàn)抽真空、工轉烘烤、自動充氣、自動鍍膜、自動冷卻放氣等鍍膜生產(chǎn)流程；支持半自動和手動等鍍膜操作方式。水、電、氣路有故障自動報警和保護系統(tǒng)，采用聲光報警。