可控環(huán)境型微納米力學(xué)測(cè)試系統(tǒng),超納米壓痕儀,納米壓痕儀,動(dòng)態(tài)超顯微硬度計(jì),超顯微硬度計(jì),納米硬度計(jì),納米劃痕儀,顯微劃痕儀,大載荷劃痕儀,納米摩擦儀,摩擦儀,摩擦試驗(yàn)機(jī),高溫摩擦試驗(yàn)機(jī),真空摩擦試驗(yàn)機(jī),膜厚儀,球磨儀,高精度臺(tái)階儀,三維微納米輪廓儀,原子力顯微鏡，薄膜應(yīng)力測(cè)量?jī)x，全息顯微鏡，激光測(cè)振儀，激光干涉儀，激光測(cè)速儀，光譜型橢偏儀，掃描霍爾探針顯微鏡，精密d33測(cè)試儀，薄膜d33測(cè)試儀，高溫介電測(cè)量系統(tǒng)，表面等離子體共振儀，激光拉曼顯微鏡PCT測(cè)試儀，碳納米制備系統(tǒng)，原子層沉積系統(tǒng)，電子束蒸發(fā)系統(tǒng)熱蒸發(fā)系統(tǒng)超高真空蒸發(fā)系統(tǒng)磁控濺射系統(tǒng)分子束外延系統(tǒng) MBE有機(jī)分子束沉積 OMBD等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相淀積系統(tǒng) PECVD電子回旋共振等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積 ECR-PECVD低能離子減薄儀，離子減薄儀，拋光機(jī)，精密切片機(jī)，微熱臺(tái)