日立FT系列鍍層測厚儀都是上照式結(jié)構(gòu)，既解決了樣品測量面的凹凸和聚焦問題又為自動聚焦自動測量等功能提供了結(jié)構(gòu)便利。上照式儀器必須由Z軸帶動樣品平臺和測量頭進(jìn)行升降動作。

日立工程師抵達(dá)客戶現(xiàn)場通電后初始化過程即發(fā)生Z軸警報，按照Z軸警報常見的故障進(jìn)行排查，清潔Z軸感應(yīng)器，導(dǎo)軌，絲桿后，故障依然無法消除。然后，手動旋轉(zhuǎn)電機時發(fā)現(xiàn)阻力大于正常阻力，懷疑Z軸絲桿與電機齒輪的銜接處存在傳動異常。工程師拆開Z軸與電機的封閉結(jié)合機構(gòu)，發(fā)現(xiàn)齒輪磨損嚴(yán)重，接觸面干燥無潤滑油，磨損導(dǎo)致縫隙過大，潤滑油干枯后導(dǎo)致摩擦力過大，電機無法正常帶動Z軸運作。工程師調(diào)整電機齒輪與Z軸絲桿的位置，重新涂抹潤滑油，開機后故障消除。

鍍層測厚儀在長期使用后，不定期添加各軸承潤滑油，會導(dǎo)致各軸承警報的發(fā)生。建議委托廠家專業(yè)工程師定期進(jìn)行年檢，對儀器內(nèi)部各警報隱患進(jìn)行排查，及時發(fā)現(xiàn)并排除問題，確保儀器正常運行。