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Thetametrisis自動化高速薄膜厚度測量儀 FR-Scanner 是一種緊湊的臺式工具，適用于自動測繪晶圓片上的涂層厚度。FR-Scanner 可以快速和準確測量薄膜特性：厚度，折射率，均勻性，顏色等。真空吸盤可應用于任何直徑或其他形狀的樣片。
1、應用
半導體生產制造：(光刻膠, 電介質,光子多層結構， poly-Si, Si, DLC, )
光伏產業(yè)
液晶顯示
光學薄膜
聚合物
微機電系統(tǒng)和微光機電系統(tǒng)
基底：透明 (玻璃, 石英, 等等) 和半透明
Thetametrisis顯示器薄膜測量儀*的光學模塊可容納所有光學部件：分光計、復合光源(壽命10000小時)、高精度反射探頭。因此，在準確性、重現(xiàn)性和長期穩(wěn)定性方面保證了優(yōu)異的性能。
Thetametrisis顯示器薄膜測量儀 光學厚度測量儀通過高速旋轉平臺和光學探頭直線移動掃描晶圓片(極坐標掃描)。通過這種方法，可以在很短的時間內記錄具有高重復性的精確反射率數(shù)據(jù)，這使得FR-Scanner 成為測繪晶圓涂層或其他基片涂層的理想工具。
2、特征
單點分析(不需要預估值)
動態(tài)測量
包括光學參數(shù)(n和k，顏色) o 為演示保存視頻
600 多種的預存材料
離線分析
免費軟件更新
3、性能參數(shù)
4、測量原理
白光反射光譜(WLRS)是測量從單層薄膜或多層堆疊結構的一個波長范圍內光的反射量，入射光垂直于樣品表面，由于界面干涉產生的反射光譜被用來計算確定(透明或部分透明或*反射基板上)的薄膜的厚度、光學常數(shù)(n和k)等。
1、樣片平臺可容納任意形狀的樣品。450mm平臺也可根據(jù)要求提供。真正的X-Y掃描也可能通過定制配置；
2、硅基板上的單層SiO2薄膜的厚度值。對于其他薄膜/基質，這些值可能略有不同；
3、15天平均值的標準差平均值。樣品：硅晶片上1微米的二氧化硅；
4、2 X (超過15天的日平均值的標準偏差)。樣品：硅晶片上1微米的二氧化硅；
5、測量結果與校準的光譜橢偏儀比較；
6、根據(jù)材料；
7、測量以8 "晶圓為基準。如有特殊要求，掃描速度可超過1000次測量/每分鐘；
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