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　　FR-Mic多層膜厚度測試儀是一款快速、準(zhǔn)確測量薄膜表征應(yīng)用的模塊化解決方案，可以將光斑縮小到幾個微米，進(jìn)而分析微小區(qū)域或者粗糙表面薄膜特征。它可以配備一臺專用計算機控制的 XY 工作臺，使其快速、方便和準(zhǔn)確地描繪樣品的厚度和光學(xué)特性。也可以搭配自動平臺測量 400x400mm 大小樣品。

　　Thetametrisis利用 FR-Mic，通過紫外/ 可見/ 近紅外可輕易對局部區(qū)域薄膜厚度，厚度映射，光學(xué)常數(shù)，反射率，折射率及消光系數(shù)進(jìn)行測量。

　　【相關(guān)應(yīng)用】

　　高校 & 研究所實驗室

　　半導(dǎo)體制造 (氧化物/氮化物，硅膜, 光刻膠及其他半導(dǎo)體薄膜.)

　　MEMS 器件 (光刻膠, 硅膜等.)

　　LEDs, VCSELs 多層膜測量應(yīng)用

　　數(shù)據(jù)存儲

　　陽極處理氧化膜

　　曲面基底的硬化涂層

　　聚合物膜層, 粘合劑.

　　生物醫(yī)學(xué)(聚對二甲苯, 生物膜/氣泡壁厚度.)

　　OEM或客制化應(yīng)用

　　【特點】

　　實時光譜測量

　　薄膜厚度，光學(xué)特性，非均勻性測量，厚度映射

　　使用集成 USB 高品質(zhì)彩色攝像機進(jìn)行成像 (所視即所測)

【技術(shù)參數(shù)】

　　*測量面積(收集反射或透射信號的面積)與顯微鏡物鏡和 FR-uProbe 的孔徑大小有關(guān)。

　　【工作原理】

　　1、規(guī)格如有更改，恕不另行通知；

　　2、測量結(jié)果與校準(zhǔn)的光譜橢偏儀和 XRD 相比較,

　　3、連續(xù) 15 天測量的標(biāo)準(zhǔn)方差平均值。樣品：(1um SiO2 on Si.) ,

　　4、100 次厚度測量的標(biāo)準(zhǔn)方差，樣品：1um SiO2 on Si.

　　5、超過 15 天的標(biāo)準(zhǔn)偏差日平均值樣品：1um SiO2 on Si。

　　6、使用反射式物鏡。

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