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中美合資合肥科晶材料技術(shù)有限公司

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目錄:中美合資合肥科晶材料技術(shù)有限公司>>晶體產(chǎn)品>>功能外延薄膜系列>> SOI薄膜（Si+SiO2+Si）

SOI薄膜（Si+SiO2+Si）

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更新時間：2025-02-11 08:04:12瀏覽次數(shù)：2533評價

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產(chǎn)品簡介

SOI薄膜（Si+SiO2+Si）

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品名稱：

SOI基片（Si+SiO2+Si）

常規(guī)尺寸：

dia4" 鍍膜層：20um Si P/B + 2umSiO2+500um Si undoped

技術(shù)參數(shù)：

國產(chǎn)SOI：膜層厚度可以按照客戶需求加工
①頂層2um±0.5（5點(diǎn)）, BOX層2um±0.1 , P型，總厚度大約621um, 平整度LTV < 1um
②頂層3um±0.5（5點(diǎn)）, BOX層2um±0.1，P型，總厚度大約622um, 平整度LTV < 1um
電阻率Ω.cm：15-25 ohm.cm；
進(jìn)口SOI：
點(diǎn)擊查看：http://mtixtl.com/soiwafersilicononinsulator.aspx

常規(guī)尺寸：

SOI	φ6″100>/<110>鍍2umSiO2層鍍2umSi層-1sp
SOI	φ4″<100>/<110>鍍0.375umSiO2層鍍0.2umSi層-1sp
SOI	φ4″<100>/<110>鍍0.375umSiO2層鍍1umSi層-1sp
SOI	φ6″<100>/<110>鍍0.375umSiO2層鍍1umSi層-1sp
SOI	φ6″-<100>鍍0.375umSiO2層鍍0.1umSi層-1sp
SOI	φ6″-<100>鍍3umSiO2層鍍220nmSi層-1sp

備注：

1000級超凈室100級超凈袋單片盒或25片插盒封裝

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