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良好的臺(tái)階覆蓋率
針對(duì)高質(zhì)量Al(含Si/CuTi)、TiN、TiW的標(biāo)準(zhǔn)方法
Z大 4 x 200mm 或 8 x 75mm陰極
襯底置于旋轉(zhuǎn)座上
襯底座可以水冷卻/加熱(Z高400oC)
預(yù)刻蝕和射頻偏壓
參數(shù)：氣流、壓強(qiáng)、射頻功率
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
典型應(yīng)用：
- 高質(zhì)量Al（含Si/Cu/Ti）
- 擴(kuò)散阻擋層TiN、TiW（反應(yīng)濺射）
- 電阻薄膜 （NiCr、TaN）
- 貴金屬：Au、Pt
| 特征 | System400 | System100 |
| 磁控管尺寸 | zui大200mm | zui大200mm |
| 磁控管個(gè)數(shù) | 4 x 200mm | 單個(gè) |
| 射頻和直流選擇 | 可以 | 可以 |
| 射頻偏壓 | 可以 | 可以 |
| 進(jìn)樣 | 真空進(jìn)樣 | 真空進(jìn)樣 |
| 襯底 | 見(jiàn)手冊(cè) | 見(jiàn)手冊(cè) |
| 質(zhì)量流量計(jì)控制的氣體管線 | 典型的zui大到4個(gè) | 典型的4個(gè) |
| 載片臺(tái)溫度范圍 | 20到300ºC |
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本公司現(xiàn)貨產(chǎn)品
MX6復(fù)合氣體檢測(cè)儀 現(xiàn)貨美國(guó)英思科M40四合一氣體檢測(cè)儀
TN3紅外測(cè)溫儀 fluke 59mini紅外測(cè)溫儀 照度計(jì) CENTER337 tx2000 h2氫氣檢測(cè)儀 HI93734-01余氯、總氯（Cl2）配套試劑 HI93735-01總硬度配套試劑
3011食品中心溫度計(jì) FD216測(cè)氡儀土壤取樣器 HGY2058在線電磁式酸堿濃度計(jì)
HGY2018在線PH計(jì) RE5299 旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)器 AR3130電子天平 SA1200（P）空氣消毒機(jī)
YSI85-10 手提式野外水質(zhì)測(cè)量?jī)x DO200在線溶解氧測(cè)定儀 YSI556MPS型多參數(shù)水質(zhì)檢測(cè)儀 3M6800防毒面罩 美國(guó)華瑞PGM-2400 四合一復(fù)合式氣體檢測(cè)儀 YSI3100 電導(dǎo)率儀 HT10S煙氣黑度照相測(cè)定儀 正壓式空氣呼吸器 COD-571-1型消解裝置
PPMhtv甲醛檢測(cè)儀 AD102農(nóng)藥檢測(cè)卡 DYM3型空盒氣壓表 PROVA5637鉤式接地電阻計(jì)
PRM-3040射線檢測(cè)儀 美國(guó)MSA 10108311歐特防護(hù)眼鏡 PGM-1700 硫化氫便攜式氣體檢測(cè)儀 MIC-800-CO2便攜式二氧化碳檢測(cè)報(bào)警儀 MIC-500-CH4O 甲醇探測(cè)器
YSI 550A型便攜式溶氧儀 TES-1360A溫濕度計(jì) GM1357聲級(jí)計(jì)
PGM-7840復(fù)合氣體檢測(cè)儀 GDYS-102SJ尿素測(cè)定儀 GDYS-101ST鐵測(cè)定儀
GDYS-101SC2臭氧測(cè)定儀 GDYN-110SA農(nóng)藥殘毒快速檢測(cè)儀（10通道）
GDYS-101SC2臭氧測(cè)定儀 D3A激光測(cè)距儀
本月*產(chǎn)品
現(xiàn)貨美國(guó)英思科M40四合一氣體檢測(cè)儀 M40硫化氫傳感器 PGM-7840復(fù)合氣體檢測(cè)儀 PGM-6208 6合一氣體檢測(cè)儀 FGM-1100 IR 可燃?xì)庠诰€監(jiān)測(cè)儀
PRM-1200（DoseRAE 2）射線檢測(cè)儀 FGM-3300 環(huán)氧乙烷（ETO）氣體檢測(cè)儀
M40一氧化碳傳感器 M40氧氣傳感器 PGM-1600可燃?xì)怏w報(bào)警儀
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