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Nikalyte NL-UHV磁控濺射儀

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更新時間:2025-01-26 22:24:32瀏覽次數(shù):1278

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 應(yīng)用領(lǐng)域 能源,電子/電池,電氣
Nikalyte NL-UHV磁控濺射儀能夠在超真空中生成和沉積納米顆粒,以在樣品上創(chuàng)建功能化表面。 可以通過精確控制納米顆粒的尺寸、組成和結(jié)構(gòu)來定制納米顆粒涂層的特性,從而實(shí)現(xiàn)定制化特性。

詳細(xì)介紹

NL-UHV能夠在超真空中生成和沉積納米顆粒,以在樣品上創(chuàng)建功能化表面。 可以通過精確控制納米顆粒的尺寸、組成和結(jié)構(gòu)來定制納米顆粒涂層的特性,從而實(shí)現(xiàn)定制化特性。

Nikalyte NL-UHV磁控濺射儀

NL-UHV儀器允許將超純納米顆粒直接沉積在各種基底和材料上??梢哉{(diào)整膜的密度,并且涂層能夠很好地附著在樣品表面。 NL-UHV有多種配置可供選擇,包括單個1英寸和2英寸源,以及三重1英寸源NL-DX3,后者允許單獨(dú)或作為合金沉積多達(dá)三種材料。 NL-QMS質(zhì)量過濾器提供了對納米顆粒沉積的高級控制,允許實(shí)時按質(zhì)量或直徑掃描或過濾納米顆粒。 NL-QMS通過用戶友好的WindowsTM軟件操作,為沉積過程提供了直觀的控制。


介紹超真空-合金納米顆粒沉積 Nikalyte NL-UHV,合金納米顆粒沉積儀器系列,能夠在超真空中將納米顆粒生成并沉積到您的樣品上,以創(chuàng)建功能化表面。通過精確控制納米顆粒的尺寸、組成和結(jié)構(gòu),可以定制納米顆粒涂層的特性。

與化學(xué)技術(shù)不同,NL-UHV系列儀器允許將超純納米顆粒直接沉積在各種基底和材料上??梢哉{(diào)整膜的密度,且膜本身可以高度附著在樣品表面。


Nikalyte NL-UHV磁控濺射儀主要特點(diǎn):

  • 可烘烤至 250°C(無需移除磁鐵)

  • 高達(dá) 40% 的出色靶材利用率

  • 用于磁性材料的標(biāo)準(zhǔn)和高強(qiáng)度磁體

  • 平衡或不平衡磁體配置的選項(xiàng)

  • 簡單的卡口夾,便于直接安裝目標(biāo)

  • 包括手動或氣動控制快門之間的選擇

  • 可用的濺射靶尺寸:1 英寸、2 英寸和 3 英寸

  • 用戶友好的設(shè)計(jì),帶有易于更換的磁鐵

  • 可定制的真空長度

  • 兼容      DC、RF、脈沖直流(單極或雙極)和      HiPIMS 電源
         
         

Nikalyte NL-UHV磁控濺射儀規(guī)格

濺射

1.0″

2.0″

3.0″


安裝法蘭 (CF O.D.

4.5 英寸

6.0 英寸

6.0 英寸


114 毫米

152   毫米

152   毫米


NW63CF

NW100CF

NW100CF


兼容 UHV

是的,可在高達(dá) 250°C 的溫度下烘烤(無需移除磁鐵)


真空長度

200 毫米或 300 毫米可根據(jù)要求提供特殊長度


源頭的真空直徑

45 毫米

72 毫米

93 毫米


目標(biāo)大小

1.0 英寸(25 毫米)

2.0 英寸(50 毫米)

3.0 英寸(75 毫米)


目標(biāo)物厚度(使用標(biāo)準(zhǔn)磁鐵的非磁性目標(biāo)物)

最大 3 毫米

最大 3 毫米

最大 3 毫米



目標(biāo)物厚度(帶有強(qiáng)磁鐵的非磁性目標(biāo)物)

不適用

最大 7 毫米

最大 7 毫米



目標(biāo)物厚度(帶有強(qiáng)磁鐵的磁性目標(biāo)物)

不可用

最大 1 毫米

最大 2 毫米


0.4mm,帶標(biāo)準(zhǔn)



磁性元件


磁鐵

對于磁性或非磁性材料,平衡或不平衡,用戶可以輕松


更換


電源

直流、射頻、脈沖直流(單極或雙極)、HiPIMS


快門

一體式手動或可選氣動操作


冷卻

最小水流量為 1 I/min




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