可定制氣體軸承線性位移臺(tái)

大行程，高重復(fù)精度氣體軸承位移臺(tái)！

所屬類別：光機(jī)產(chǎn)品/精密定位控制系統(tǒng) ? 電動(dòng)平移臺(tái)

可定制氣體軸承線性位移臺(tái)

LT系列位移平臺(tái)采用經(jīng)過特殊設(shè)計(jì)的空氣軸承，該軸承分別對(duì)剛度、承載能力和剛度進(jìn)行了優(yōu)化。與傳統(tǒng)的軸承相比，采用氣體為潤(rùn)滑劑，因此所有運(yùn)動(dòng)都是無接觸的，因此在整個(gè)使用壽命之內(nèi)，設(shè)備的性能保持不變，并且無需進(jìn)行特殊維護(hù)。此外位移平臺(tái)采用直線電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)，無須螺桿或齒輪進(jìn)行傳動(dòng)實(shí)現(xiàn)了非常平滑的無干擾的高精度的運(yùn)動(dòng)。通過使用天然大理石為平移臺(tái)移動(dòng)的桌面，可以實(shí)現(xiàn)非常高的重復(fù)定位精度。從而使位移平臺(tái)擁有極低的俯仰、偏擺、滾動(dòng)、偏航和線性誤差。

上海昊量光電設(shè)備有限公司推出的空氣軸承位移平臺(tái)可提供從200mm-1500mm不同行程的平臺(tái),在可提供大行程的同時(shí)，精度可達(dá)到300nm，平移臺(tái)擁有優(yōu)異的分辨率，重復(fù)精度可達(dá)到100nm。

此外提供高精度的復(fù)雜運(yùn)動(dòng)和定位方案：

提供不同應(yīng)用中需要的定位平臺(tái)、控制器和相關(guān)軟件

?整體解決方案

?定制化解決方案

?復(fù)雜的多軸與并聯(lián)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)

?超精密空氣與機(jī)械軸承

?軟件集成：: LABVIEW, Tango, Epics……

產(chǎn)品特點(diǎn)：

l   優(yōu)異的重復(fù)精度

l   超大行程

l   采用空氣軸承，無需維護(hù)

l   可按客戶要求進(jìn)行定制

主要應(yīng)用

l   高性能掃描

l   光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)

l   超精密研磨和切削

l   光伏系統(tǒng)

l   醫(yī)療系統(tǒng)

l   同步輻射或X射線

l   激光加工

l   半導(dǎo)體行業(yè)

l   晶體處理

產(chǎn)品參數(shù)：