Physik Instrumente壓電陶瓷納米定位器

：PI (Physik Instrumente)
公司簡介：
   德國PI公司是運動和定位領(lǐng)域的解決方案供應(yīng)商。
   PI不僅開發(fā)和生產(chǎn)各種定位平臺和執(zhí)行器，用于線性，旋轉(zhuǎn)和垂直運動或不同軸的組合。 PI因此將這些解決方案適應(yīng)客戶特定的應(yīng)用或提供用于運動和定位的成品子系統(tǒng)。

P-733.2 XY壓電陶瓷納米定位器

·         X和Y向上的行程達100微米×100微米

·         電容式傳感器使分辨率達0.1納米

·         帶直接驅(qū)動器的高速版本

·         可提供真空兼容和非磁性版本

·         并聯(lián)運動實現(xiàn)更高精度和動態(tài)

·         導(dǎo)向誤差主動補償?shù)牟⑿杏嬃?/span>

·         零間隙，高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)

·         50毫米×50毫米的通光孔徑用于透射光應(yīng)用

Physik Instrumente壓電陶瓷納米定位器

應(yīng)用領(lǐng)域

·         掃描顯微鏡

·         共聚焦顯微鏡

·         掩模/晶圓定位

·         表面測量技術(shù)

·         納米壓印

·         顯微操縱

·         圖像處理/穩(wěn)定

·         高運動平面度和直線度的納米定位

訂購信息

帶直接驅(qū)動器

P-733.2DD 高動態(tài)精密XY向納米定位系統(tǒng)，30 微米 × 30 微米，直接驅(qū)動，電容傳感器，平行計量，Sub-D連接器

帶Sub-D連接器（公頭）的版本

P-733.2CD 精密XY向納米定位系統(tǒng)，100 微米 × 100 微米，電容傳感器，平行計量，Sub-D連接器