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P-611.3 NanoCubeXYZ壓電陶瓷系統(tǒng)
用于納米級定位和光纖校準(zhǔn)的緊湊型多軸壓電系統(tǒng)
· 行程達(dá)120 微米×120 微米×120 微米
· 超緊湊型：44 毫米 × 44 毫米 × 44 毫米
· 分辨率達(dá)0.2納米
· 快速響應(yīng)行為
· 零間隙，高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)
· PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命
· 用于快速掃描
· 帶集成式光纖夾持器的版本
· 極其經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的系統(tǒng)
應(yīng)用領(lǐng)域
· 光子學(xué)/集成光學(xué)
· 顯微操縱
· 生物技術(shù)
· 半導(dǎo)體測試
· 光纖定位
零間隙柔性鉸鏈導(dǎo)向帶來高導(dǎo)向精度
柔性鉸鏈導(dǎo)向無需維護(hù)、無摩擦、無磨損，無需潤滑。它們的剛性可實(shí)現(xiàn)高負(fù)載能力，且它們對chong擊和振動不敏感。它們*真空兼容，可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。
PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命
的PICMA壓電陶瓷促動器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動器的使用壽命比傳統(tǒng)的聚合物絕緣促動器長達(dá)十倍。它們被證明可實(shí)現(xiàn)*運(yùn)行1000億個循環(huán)。
應(yīng)用領(lǐng)域
光子學(xué)/集成光學(xué)
顯微操縱
生物技術(shù)
半導(dǎo)體測試
光纖定位
零間隙柔性鉸鏈導(dǎo)向帶來高導(dǎo)向精度
柔性鉸鏈導(dǎo)向無需維護(hù)、無摩擦、無磨損，無需潤滑。它們的剛性可實(shí)現(xiàn)高負(fù)載能力，且它們對chong擊和振動不敏感。它們*真空兼容，可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。
PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命
的PICMA壓電陶瓷促動器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動器的使用壽命比傳統(tǒng)的聚合物絕緣促動器長達(dá)十倍。它們被證明可實(shí)現(xiàn)*運(yùn)行1000億個循環(huán)。
規(guī)格
P-611.3S P-611.3SF P-611.3O P-611.3OF 單位 公差
主動軸 X、Y、Z X、Y、Z
運(yùn)動和定位
集成傳感器 應(yīng)變片傳感器
-20至120 伏時的開環(huán)行程 120/軸 120/軸 微米 +20 % / -0 %
重復(fù)精度
X、Y向上的螺距 ±5 ±5 微弧度 典型值
θX向上的傾斜（Z向運(yùn)動） ±10 ±10 微弧度 典型值
X向上的偏轉(zhuǎn)角 ±20 ±20 微弧度 典型值
Y向上的偏轉(zhuǎn)角 ±10 ±10 微弧度 典型值
θY向上的傾斜（Z向運(yùn)動） ±10 ±10 微弧度 典型值
機(jī)械特性
剛度 0.3 0.3 牛/微米 ±20 %
X / Y / Z向上的空載諧振頻率 350 / 220 / 250 350 / 220 / 250 赫茲 ±20 %
帶30克負(fù)載時X/Y/Z向上的諧振頻率 270 / 185 / 230 270 / 185 / 230 赫茲 ±20 %
帶100克負(fù)載時X/Y/Z向上的諧振頻率 180 / 135 / 200 180 / 135 / 200 赫茲 ±20 %
運(yùn)動方向上的推/拉力 15 / 10 15 / 10 牛 大
負(fù)載容量 15 15 牛 大
驅(qū)動特性
陶瓷類型 PICMAP-885 PICMAP-885
電容 1.5 1.5 微法 ±20 %
其他 工作溫度范圍 -20 到 80 -20 到 80 °C
材料 鋁、鋼 鋁、鋼
尺寸 S版本： 48 毫米 × 44 毫米 × 43.2 毫米
SF版本： 44 毫米 × 50 毫米 × 44.2 毫米
O版本： 44 毫米 × 44 毫米 × 43.2 毫米
OF版本： 44 毫米 × 50 毫米 × 44.2 毫米
質(zhì)量 0.32 0.32 千克 ±5 %
電纜長度 1.5 1.5 米 ±10 毫米
電壓連接 Sub-D25針（公頭） Sub-D25針（公頭）
傳感器連接 Sub-D25針（公頭） –
推薦電控 E-503、E-505、E-663、E- 664、E-727 E-503、E-505、E-663、E- 664、E-727
訂購信息
P-611.3S NanoCube XYZ向納米定位系統(tǒng)，100微米 × 100微米 × 100微米，應(yīng)變片傳感器 P-611.3O NanoCube XYZ向納米定位系統(tǒng)，100微米 × 100微米 × 100微米，不帶傳感器 P-611.3SF NanoCube XYZ向納米定位系統(tǒng)，100微米 × 100微米 × 100微米，應(yīng)變片傳感器，集成式光纖夾持器
P-611.3OF NanoCube XYZ向納米定位系統(tǒng)，100微米 × 100微米 × 100微米，不帶傳感器，集成式光纖夾持器
P-611.3 NanoCubeXYZ壓電陶瓷系統(tǒng)
