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如何實(shí)現(xiàn)光學(xué)平臺(tái)的隔振？
閱讀：2986 發(fā)布時(shí)間：2021-7-14
光學(xué)平臺(tái)廣泛應(yīng)用于光學(xué)、電子、精密機(jī)械制造、冶金、航天、航空、航海、精密化工和無損檢測等領(lǐng)域，以及其他機(jī)械行業(yè)的精密試驗(yàn)儀器、設(shè)備振動(dòng)隔離的關(guān)鍵裝置中，其動(dòng)態(tài)力學(xué)特性的好壞直接影響試驗(yàn)結(jié)果的性和可靠性。儀器設(shè)備的微振動(dòng)直接影響精密儀器設(shè)備的測量精度。隨著精密隔振要求的提升，需要不斷提高光學(xué)平臺(tái)的振動(dòng)隔離技術(shù)。
隔振系統(tǒng)設(shè)計(jì)需要考慮的環(huán)境微振動(dòng)干擾是復(fù)雜的，包括：大型建筑物本身的擺動(dòng)、地面或樓層間傳來的振動(dòng)、電動(dòng)儀器和設(shè)備的振動(dòng)、各類機(jī)械振動(dòng)、聲音引起的振動(dòng)、外界街道交通引起的振動(dòng)，甚至包括人員走動(dòng)所引起的振動(dòng)等。
光學(xué)平臺(tái)的選擇對(duì)于提升實(shí)驗(yàn)精度，起著至關(guān)重要的作用?？傮w上說，光學(xué)平臺(tái)的隔振，通過三個(gè)方面來實(shí)現(xiàn)：
隔振系統(tǒng)設(shè)計(jì)需要考慮的環(huán)境微振動(dòng)干擾是復(fù)雜的，包括：大型建筑物本身的擺動(dòng)、地面或樓層間傳來的振動(dòng)、電動(dòng)儀器和設(shè)備的振動(dòng)、各類機(jī)械振動(dòng)、聲音引起的振動(dòng)、外界街道交通引起的振動(dòng)，甚至包括人員走動(dòng)所引起的振動(dòng)等。
光學(xué)平臺(tái)的選擇對(duì)于提升實(shí)驗(yàn)精度，起著至關(guān)重要的作用?？傮w上說，光學(xué)平臺(tái)的隔振，通過三個(gè)方面來實(shí)現(xiàn)：
• 隔振支架：通常來說，氣浮式隔振支架性能優(yōu)于阻尼式隔振支架，部分性能的隔振支架可以將外界振動(dòng)（常見10～200Hz）減少一至兩個(gè)數(shù)量級(jí)
• 臺(tái)面物理性能：要求臺(tái)面有一定的剛性而且較輕（硬重比），這樣的臺(tái)面可以有效減少共振時(shí)的振幅，這一點(diǎn)在后面闡述
• 臺(tái)面內(nèi)部結(jié)構(gòu)：臺(tái)面的內(nèi)部結(jié)構(gòu)，除了負(fù)責(zé)減輕支架未能消除的外界振動(dòng)外對(duì)于降低或消除因臺(tái)面上的沖擊和相對(duì)運(yùn)動(dòng)引起的振動(dòng)，起到至關(guān)重要的作用
的光學(xué)平臺(tái)不僅需要高精度的機(jī)器設(shè)備來加工，更需要有高科技精度的檢測手段與檢測儀器來，也只有的光學(xué)平臺(tái)才能高精度的科學(xué)實(shí)驗(yàn)、科學(xué)研究的正常進(jìn)行。
STACIS III是一種靈活的主動(dòng)隔振系統(tǒng)。STACIS采用的慣性振動(dòng)傳感器、控制算法和壓電致動(dòng)器，通過連續(xù)測量地面活動(dòng)，然后擴(kuò)展和收縮壓電致動(dòng)器來過濾地面運(yùn)動(dòng)，以實(shí)時(shí)消除振動(dòng)。STACIS III包括一個(gè)的改進(jìn)型數(shù)字控制器DC-2020。這款的控制系統(tǒng)在前后面板上采用了新的雙核處理器、以太網(wǎng)以及USB串行端口，為用戶提供了現(xiàn)代化且易于使用的圖形用戶界面（GUI）。被設(shè)計(jì)用于隔離半導(dǎo)體工廠中的精密微光刻、計(jì)量和檢測設(shè)備，現(xiàn)已成為嘈雜環(huán)境（包括但不限于半導(dǎo)體工廠、失效分析實(shí)驗(yàn)室、納米技術(shù)研究、納米制造設(shè)施和材料研究中心）中敏感儀器的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)解決方案。