產(chǎn)品特色：

◆ 精密探針定位裝置，激光光斑對(duì)準(zhǔn)調(diào)節(jié)非常簡(jiǎn)便

◆ 自動(dòng)光學(xué)定位，無需調(diào)焦，實(shí)時(shí)觀測(cè)與定位探針樣品掃描區(qū)域

◆ 激光檢測(cè)頭和樣品掃描臺(tái)集成一體，結(jié)構(gòu)非常穩(wěn)定，抗干擾性強(qiáng)

◆ 彈簧懸掛式防震方式，簡(jiǎn)單實(shí)用，防震效果好

◆ 單軸驅(qū)動(dòng)樣品自動(dòng)垂直接近探針，使針尖垂直于樣品掃描

◆ 馬達(dá)控制加壓電陶瓷自動(dòng)探測(cè)的智能進(jìn)針方式，保護(hù)探針及樣品

◆ 金屬屏蔽隔音箱，內(nèi)置高精度溫濕度傳感器，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)工作環(huán)境

◆ 集成掃描器非線性校正用戶編輯器，納米表征和測(cè)量精度優(yōu)于98%

技術(shù)參數(shù)：