SF6智能微水儀由于SF₆被電弧分解后產(chǎn)生HF，SO₂，SOF₂等有毒氣體，會(huì)對(duì)金屬件、絕緣件產(chǎn)生腐蝕作用，而水分的存在會(huì)加重腐蝕作用。因此，微量水分作為SF₆開(kāi)關(guān)設(shè)備出廠和投運(yùn)前的必試項(xiàng)目，已廣泛地受到重視，對(duì)SF₆高壓電氣設(shè)備氣體密度和微水含量的監(jiān)測(cè)一直是相關(guān)行業(yè)對(duì)設(shè)備監(jiān)測(cè)的一個(gè)重要的組成部分。

    為了使對(duì)SF₆氣體的監(jiān)測(cè)變得有章可循，有關(guān)部門(mén)相繼制定了相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)對(duì)SF₆氣體質(zhì)量、特別是微水含量進(jìn)行嚴(yán)格控制，電力部推薦標(biāo)準(zhǔn)《電力設(shè)備預(yù)防性試驗(yàn)規(guī)程(DL/T 596-2005)》、國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《六氟化硫電氣設(shè)備中氣體管理和檢驗(yàn)導(dǎo)則(GB/T 8905-1996)》。