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目錄:鄭州科探儀器設(shè)備有限公司>>材料樣品處理>>小型濺射儀>> 磁控濺射儀

磁控濺射儀

  • 磁控濺射儀
參考價 1
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
1
≥1
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 品牌 鄭科探
  • 型號
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 鄭州市
屬性

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>

更新時間:2025-12-23 14:53:07瀏覽次數(shù):18124評價

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靶材材質(zhì) 詳詢 靶材尺寸 詳詢mm
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濺射氣體 詳詢 控制方式 詳詢
樣品倉尺寸 詳詢mm 樣品臺尺寸 詳詢mm
應(yīng)用領(lǐng)域 電子/電池
KT-Z1650PVD是一款小型臺式濺射功率可控磁控濺射儀,儀器雖小功能齊全,配備有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉(zhuǎn),樣品高度調(diào)節(jié),及電動擋板功能。通過定時調(diào)節(jié)預(yù)濺射功率及薄膜沉積功率,可對大部分金屬進(jìn)行均勻物理沉積,真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染,樣品臺可旋轉(zhuǎn)以獲得更均勻的薄膜,可制備各種金屬薄膜。

KT-Z1650PVD是一款小型臺式濺射功率可控磁控濺射儀,儀器雖小功能齊全,配備有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉(zhuǎn),樣品高度調(diào)節(jié),及電動擋板功能。通過定時調(diào)節(jié)預(yù)濺射功率及薄膜沉積功率,可對大部分金屬進(jìn)行均勻物理沉積,真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染,樣品臺可旋轉(zhuǎn)以獲得更均勻的薄膜,可制備各種金屬薄膜。

     目前公司已研發(fā)生產(chǎn)產(chǎn)品十多個系列幾十款產(chǎn)品,產(chǎn)品囊括實驗電爐   CVD供氣系統(tǒng)   等離子清洗機(jī)   小型離子濺射儀   磁控濺射儀 石英管真空封口   半導(dǎo)體檢測等。 主要適用于科研院校及工礦企業(yè)在新材料、新能源等領(lǐng)域物理特性及化學(xué)特性的研究,廣銷于各大院校,及材料研究所。

     公司與國內(nèi)高校,科研院所有多層次的合作關(guān)系,建有開放實驗室,相關(guān)領(lǐng)域的教授、高級工程師、博士參與公司產(chǎn)品的研究和開發(fā)。我們秉承公司的發(fā)展理念,依靠嚴(yán)謹(jǐn)?shù)募夹g(shù)研發(fā)能力,科學(xué)合理的生產(chǎn)工藝,精益求精的制造要求,全心全意做好產(chǎn)品質(zhì)量和服務(wù)工作,科探儀器時刻懷著一顆真誠的心期待與您的合作。


磁控濺射儀


控制方式

7寸人機(jī)界面 手動 自動模式切換控制

濺射電源

40KHz濺射電源

鍍膜功能

0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

大功率

≤1000W

大輸出電壓電流

電壓≤1000V  電流≤1A

極限真空

機(jī)械泵 ≤5Pa(5分鐘)   分子泵≤5*10^-3Pa

濺射真空

≤30Pa

擋板類型

電控

真空腔室

石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm

樣品臺

可旋轉(zhuǎn)φ62  (大可安裝φ50基底)

樣品臺轉(zhuǎn)速

8轉(zhuǎn)/分鐘

樣品濺射源調(diào)節(jié)距離

40-105mm

真空測量

皮拉尼真空計(已安裝 測量范圍10E5Pa  1E-1Pa)

預(yù)留真空接口

KF25抽氣口    KF16放氣口   6mm卡套進(jìn)氣口






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