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主動控制垂直方向（Z），兩個水平方向（X，Y），每個旋轉方向有6個自由度。

無論安裝設備的重量（平均負載 0 至 100kg）和重心位置如何，它都表現(xiàn)出穩(wěn)定的隔振效果。

配備自動調平機構，可在啟動時通過感應車載設備的重心自動調整*佳控制平衡。

消除可能產生灰塵的材料并支持在潔凈室中使用。

面板采用VFD（Vacuum Fluorescent Display），視角廣，觀看方便。此外，考慮到在暗室中的使用，它還配備了光源的開/關功能。

AFM（原子力顯微鏡）、SPM（掃描探針顯微鏡）。

激光顯微鏡，激光干涉儀。

顯微硬度計。

其他各種精密精密測量儀器。