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福建顯微鏡是一種多用途的光學(xué)機(jī)械式兩維坐標(biāo)精密測量儀器，該產(chǎn)品可廣泛用于機(jī)械制造，紡織機(jī)械加工的檢測；電子行業(yè)、集成線路線寬及其它精密件測試；冶金工業(yè)的礦石標(biāo)本，印刷制版加工的檢測；以及計(jì)量部門、大專院校、科研部門各類精密加工件的測試使用等。

　　大平臺無窮遠(yuǎn)芯片檢查顯微鏡是適用于半導(dǎo)體晶圓的檢驗(yàn)、芯片封裝、電路基板、材料等行業(yè)?？蛇M(jìn)行偏光與明視場、暗視場觀察轉(zhuǎn)換。專門設(shè)計(jì)的大移動(dòng)范圍載物臺，移動(dòng)范圍:8"×8"(204mm×204mm)，滿足半導(dǎo)體行業(yè)的需求。粗微動(dòng)同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)，粗動(dòng)松緊可調(diào)，帶限位鎖緊裝置，微動(dòng)格值:0.7μm。三目鏡筒，可進(jìn)行透光攝影。

福建顯微鏡標(biāo)準(zhǔn)配置

技術(shù)規(guī)格
目鏡	大視野 WF10X(視場數(shù)Φ22mm)
無限遠(yuǎn)長距平場消色差物鏡	LW400LJT （配明場物鏡）	PL L5X/0.12 工作距離：26.1 mm
		PL L10X/0.25 工作距離：20.2 mm
		PL L20X/0.40 工作距離：8.80 mm
		PL L50X/0.70 工作距離：3.68 mm
		PL L80X/0.80 工作距離：1.25 mm
	LW400LMDT （配明/暗場物鏡）	PL L5X/0.12 BD 工作距離：9.70 mm
		PL L10X/0.25 BD 工作距離：9.30 mm
		PL L20X/0.40 BD 工作距離：7.23mm
		PL L50X/0.70 BD 工作距離：2.50 mm
		PL L80X/0.80 BD 工作距離：1.25 mm
目鏡筒	三目鏡30?傾斜, 可*通光攝影
落射照明系統(tǒng)	LW400LJT	6V30W鹵素?zé)?，亮度可調(diào)
	LW400LMDT	12V50W鹵素?zé)簦炼瓤烧{(diào)
	內(nèi)置視場光欄、孔徑光欄、(黃、藍(lán)、綠、磨砂玻璃)濾色片轉(zhuǎn)換裝置，推拉式檢偏器與起偏器
調(diào)焦機(jī)構(gòu)	粗微動(dòng)同軸調(diào)焦,帶鎖緊和限位裝置,微動(dòng)格值:0.7μm
轉(zhuǎn)換器	五孔(內(nèi)向式滾珠位)
載物臺	機(jī)械式載物臺，外形尺寸：280mmX270mm，移動(dòng)范圍：橫向（X）204mm，縱向（Y）204mm

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