API激光干涉儀XD LASER核心特性
1. 多維度測(cè)量能力
6D 型號(hào)：一次安裝同時(shí)測(cè)量 6 個(gè)參數(shù)：
線性定位誤差 (1 個(gè)位置度)
兩個(gè)方向直線度 (XX 和 YY 方向)
偏擺角和俯仰角 (兩個(gè)角度)
滾動(dòng)角 (1 個(gè)角度)
API激光干涉儀XD LASER型號(hào)對(duì)比：
型號(hào)測(cè)量參數(shù)
1D定位誤差、重復(fù)定位精度、反向間隙、速度、加速度
3D1D 參數(shù) + XX 和 YY 方向直線度
5D3D 參數(shù) + 偏擺角、俯仰角
6D5D 參數(shù) + 滾動(dòng)角
2. 精度
線性精度：0.5ppm (每米 0.5 微米)
測(cè)量范圍：標(biāo)準(zhǔn) 40 米 (1D 可選 80 米)
線性分辨力：0.001μm (納米級(jí))
角度精度：
偏擺 / 俯仰：(1.0+0.1/m) 角秒或 1% 顯示值
滾動(dòng)角：1.0 角秒
垂直度：±1 角秒
3. 創(chuàng)新設(shè)計(jì)
緊湊集成：主機(jī)集成干涉鏡，無需單獨(dú)架設(shè)，總重僅 4.2kg
兩點(diǎn)式對(duì)光：摒棄傳統(tǒng)三腳架，簡化安裝流程
內(nèi)置無線通信：增強(qiáng)連接穩(wěn)定性，減少線纜干擾
