菲希爾X射線測(cè)厚儀FISCHERSCOPE X-RAY XDL240核心測(cè)量原理與設(shè)計(jì)
采用自上而下的 XRF 測(cè)量方式;通過(guò)鎢靶 X 射線管激發(fā)樣品,比例計(jì)數(shù)管接收特征熒光,結(jié)合WinFTM®軟件與DCM 距離補(bǔ)償技術(shù),可在 0–80mm 距離下穩(wěn)定測(cè)量,無(wú)需反復(fù)調(diào)焦;最多解析 25 層復(fù)合鍍層,元素覆蓋 Ti (22) 至 U (92)。
配備電動(dòng) XY 工作臺(tái)(開門自動(dòng)移出至裝載位)+可編程 Z 軸(行程 140mm);集成帶十字線與變焦的視頻顯微鏡、一級(jí)激光定位,方便精準(zhǔn)找點(diǎn)。
C 型槽防護(hù)罩可測(cè)大型扁平樣品(如大 PCB 板);整機(jī)符合輻射安全標(biāo)準(zhǔn)并帶聯(lián)鎖保護(hù)。
關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)
射線源與探測(cè)器:鎢靶 X 射線管(鈹窗),30/40/50kV 三檔高壓;標(biāo)準(zhǔn)準(zhǔn)直器 0.3mm,可選 0.1/0.2mm 或狹縫型;最小測(cè)量光斑約 0.2mm;比例計(jì)數(shù)管探測(cè)器。
工作臺(tái):XY 行程 255×235mm,移動(dòng)速度 80mm/s,重復(fù)定位精度 0.01mm;樣品高度 140mm,承重可選 5kg/20kg;可用臺(tái)面 300×350mm。
環(huán)境與電氣:工作溫度 10–40°C,濕度≤95%(無(wú)凝露);AC 115/230V,50/60Hz,功耗≤120W(不含電腦);整機(jī)重量約 120kg。
性能:金層 60 秒測(cè)量重復(fù)性優(yōu)于 1%;符合 DIN ISO 3497、ASTM B568 標(biāo)準(zhǔn)。