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當(dāng)前位置：無(wú)錫冠亞恒溫制冷技術(shù)有限公司>>元器件高低溫測(cè)試機(jī)>>蝕刻機(jī)用冷水機(jī)>> AES-4535光刻機(jī)水冷機(jī)冷水機(jī)安裝位置考慮因素有哪些
| 參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號(hào)AES-4535
品 牌LNEYA/無(wú)錫冠亞
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地無(wú)錫市
更新時(shí)間：2025-01-13 09:13:42瀏覽次數(shù)：3301次
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半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室級(jí)變頻冷水機(jī)-高精度溫控系統(tǒng)
chiller變頻冷水機(jī)±1℃波動(dòng)滿(mǎn)足封裝需求
半導(dǎo)體行業(yè)變頻制冷機(jī)-50℃~200℃寬域溫控
半導(dǎo)體變頻水冷機(jī)±0.5℃滿(mǎn)足光刻工藝要求
半導(dǎo)體冷水機(jī)丨刻蝕/鍍膜工藝專(zhuān)用冷卻方案
| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 國(guó)產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 5萬(wàn)-10萬(wàn) |
|---|---|---|---|
| 冷卻方式 | 風(fēng)冷式 | 儀器種類(lèi) | 一體式 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子/電池,航空航天,制藥/生物制藥,汽車(chē)及零部件 |
| 型號(hào) | AES-4535 AES-4535W | AES-6035 AES-6035W | AES-8035 AES-8035W | AES-A1035W | AES-A1235W | |
| 溫度范圍 | -45℃～225℃ | -60℃～225℃ | -80℃～225℃ | -100℃～225℃ | -120℃～225℃ | |
| 制冷量 | -45℃ | 2.5kW | ||||
| -60℃ | 2kW | |||||
| -80℃ | 1.5kW | |||||
| -100℃ | 1.2kW | |||||
| -120℃ | 1.2kW | |||||
| 溫控精度 | ±0.5℃ | ±0.5℃ | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ | |
| 溫度轉(zhuǎn)換時(shí)間 | -25℃ to 150℃ 約10S 150℃to -25℃ 約20s | -45℃ to 150℃ 約10S 150℃to -45℃ 約20s | -55℃ to 150℃ 約10S 150℃to -55℃ 約15s | -70℃ to 150℃ 約10S 150℃to -70℃ 約20s | -80℃ to 150℃ 約11S 150℃to -80℃ 約20s | |
| 空氣要求 | 空氣濾清器<5um 空氣含油量:<0.1ppm 空氣溫濕度：5℃～32℃ 0～50%RH | |||||
| 空氣處理能力 | 7m³/h ～ 25m³/h 壓力5bar～7.6bar | |||||
| 系統(tǒng)壓力顯示 | 制冷系統(tǒng)壓力采用指針式壓力表實(shí)現(xiàn)（高壓、低壓） 循環(huán)系統(tǒng)壓力采用壓力傳感器檢測(cè)顯示在觸摸屏上 | |||||
| 控制器 | 西門(mén)子PLC，模糊PID控制算法 | |||||
| 溫度控制 | 控制出風(fēng)口溫度 | |||||
| 可編程 | 可編制10條程序，每條程序可編制10段步驟 | |||||
| 通信協(xié)議 | 以太網(wǎng)接口TCP/IP協(xié)議 | |||||
| 設(shè)備內(nèi)部溫度反饋 | 設(shè)備出口溫度、制冷系統(tǒng)冷凝溫度、環(huán)境溫度、壓縮機(jī)吸氣溫度、冷卻水溫度（水冷設(shè)備有） | |||||
| 溫度反饋 | T型溫度傳感器 | |||||
| 壓縮機(jī) | 法國(guó)泰康/艾默生 | |||||
| 蒸發(fā)器 | 套管式換熱器 | |||||
| 加熱器 | 法蘭式桶狀加熱器 | |||||
| 制冷附件 | 丹佛斯/艾默生配件（干燥過(guò)濾器、油分離器、高低壓保護(hù)器、膨脹閥、電磁閥） | |||||
| 操作面板 | 無(wú)錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏，溫度曲線(xiàn)顯示EXCEL 數(shù)據(jù)導(dǎo)出 | |||||
| 安全防護(hù) | 具有自我診斷功能；相序斷相保護(hù)器、冷凍機(jī)過(guò)載保護(hù)；高壓壓力開(kāi)關(guān)，過(guò)載繼電器、熱保護(hù)裝置等多種安全保障功能。 | |||||
| 制冷劑 | 冠亞混合制冷劑 | |||||
| 外接保溫軟管 | 方便外送保溫軟管1.8m DN32快接卡箍 | |||||
| 外型尺寸（風(fēng)）cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 80*120*185 | 100*150*185 | |
| 外型尺寸（水）cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 70*100*175 | 80*120*185 | |
| 風(fēng)冷型 | 采用銅管鋁翅片冷凝方式，冷凝風(fēng)機(jī)采用德國(guó)EBM軸流風(fēng)機(jī) | |||||
| 水冷型 W | 帶W型號(hào)為水冷型 | |||||
| 水冷冷凝器 | 板式換熱器（務(wù)必確保冷卻水清潔） | |||||
| 冷卻水量 at 25℃ | 0.6m³/h G3/8 | 1.2m³/h G3/4 | 1.6m³/h G1 | 2.6m³/h G1 | 3m³/h G1 | |
| 電源 50HZ max | 3.7kW 220V | 5kW 220V | 5kW 220V | 6.8kW 220V | 7.5kW 220V | |
| 電源 | 可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相 | |||||
| 外殼材質(zhì) | 冷軋板噴塑 （標(biāo)準(zhǔn)顏色7035） | |||||
| 溫度擴(kuò)展 | 高溫到 +300℃ | |||||
光刻機(jī)水冷機(jī)冷水機(jī)安裝位置考慮因素有哪些
光刻機(jī)水冷機(jī)冷水機(jī)安裝位置考慮因素有哪些
光刻機(jī)水冷機(jī)是一種常見(jiàn)的工業(yè)冷卻設(shè)備，光刻機(jī)水冷機(jī)安裝時(shí)需要選取合適的安裝位置，這樣可以減少制冷量損失并且操作更為便利。
1、應(yīng)當(dāng)盡量減少光刻機(jī)水冷機(jī)與被控溫設(shè)備的距離，這樣的好處是可以減少冷凍水在管路中的壓降和冷量損失，而且機(jī)組沒(méi)有遠(yuǎn)程控制功能時(shí)方便操作設(shè)備；
2、從散熱條件來(lái)說(shuō)，將光刻機(jī)水冷機(jī)安裝有良好的通風(fēng)環(huán)境，可以將機(jī)組帶出的熱量及時(shí)排出，另外考慮到為了方便機(jī)組操作，將光刻機(jī)水冷機(jī)的控制和故障反饋部分遠(yuǎn)程接入是非常有必要的。
3、光刻機(jī)水冷機(jī)的噪音主要來(lái)自于壓縮機(jī)、循環(huán)水泵和風(fēng)機(jī)這幾個(gè)部件，其中風(fēng)機(jī)的噪音是主要的，常規(guī)的小型光刻機(jī)水冷機(jī)的噪音還是比較小的，如果是在有靜音要求的地方比如實(shí)驗(yàn)室使用，則需要考慮光刻機(jī)水冷機(jī)組的降噪問(wèn)題。
4、光刻機(jī)水冷機(jī)組在使用和后期維護(hù)中可能需要補(bǔ)充一定量的循環(huán)水，所以安裝位置應(yīng)當(dāng)考慮有自動(dòng)補(bǔ)水的水源，以及設(shè)備檢修時(shí)可以方便地將循環(huán)水排出；如果光刻機(jī)水冷機(jī)采用的是手動(dòng)補(bǔ)水的方式，則只需考慮設(shè)備的排水問(wèn)題就可以了。
如果您想了解更多關(guān)于光刻機(jī)水冷機(jī)安裝位置的要求，也可以隨時(shí)與無(wú)錫冠亞取得聯(lián)系，我們的制冷工程師會(huì)隨時(shí)為您提供支持。
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