1.產(chǎn)品概述：

7234劃片機(jī)是一款高精度的半導(dǎo)體切割設(shè)備，主要用于晶圓或其他材料的切割加工。它配備了4英寸的空氣軸承主軸，采用直流無(wú)刷電機(jī)驅(qū)動(dòng)，轉(zhuǎn)速高達(dá)30krpm，能夠兼容4-5英寸的刀片。該設(shè)備能夠覆蓋大直徑為300毫米或253mmX243mm的方形產(chǎn)品，具有高效、精確的切割能力。

2.產(chǎn)品原理：

ADT 7234劃片機(jī)的工作原理通常是通過(guò)空氣靜壓主軸帶動(dòng)金剛石砂輪劃切刀具高速旋轉(zhuǎn)，將晶圓或器件沿切割道方向進(jìn)行切割或開(kāi)槽。這種切割方式結(jié)合了水氣電、精密機(jī)械傳動(dòng)、傳感器及自動(dòng)化控制等多種技術(shù)，確保切割過(guò)程的高精度和穩(wěn)定性。

3.產(chǎn)品工藝：

 4"，空氣軸承主軸，直流無(wú)刷，轉(zhuǎn)速高達(dá)30krpm。

兼容 4"-5" 刀片。覆蓋大8"的圓形晶圓或253mmX 243mm方形產(chǎn)品。

工件尺寸：大∅300 mm或253mmX 243mm方形產(chǎn)品

刀片尺寸：4"-5"

主軸：空氣軸承，直流無(wú)刷，30 krpm/2.5 kW

分度軸（Y）

驅(qū)動(dòng)裝置：滾珠軸承絲桿，配步進(jìn)電機(jī)

控制：線(xiàn)性編碼器

分辨率：0.1 µm

累積精度 (∅300): 3µm

分度精度：1.0 µm

傳送軸（X）

驅(qū)動(dòng)裝置：滾珠軸承絲桿，配直流無(wú)刷電機(jī)

傳送速度：高達(dá) 600 mm/sec

切割深度軸（z）

驅(qū)動(dòng)裝置：滾珠軸承絲桿，配直流無(wú)刷電機(jī)

分辨率：0.2 µm

重復(fù)精度：1.0 µm

旋轉(zhuǎn)軸 (θ)

驅(qū)動(dòng)：閉環(huán)、直接驅(qū)動(dòng)、直流無(wú)刷

分辨率：4 arc-sec

行程：350度

視覺(jué)系統(tǒng)

數(shù)字?jǐn)z像頭

高亮LED照明（直射和斜射）

持續(xù)數(shù)字變焦：x 70 - x 280 或 50 - x 200（可選）

清洗臺(tái)

沖洗和干燥循環(huán)

旋轉(zhuǎn)速度：100-2,000 RPM

清洗方法：二流體/霧化功能

晶圓處理系統(tǒng)

插槽至插槽完整性和檢抽屜

可選件

BBD（破刀探測(cè)器）

紫外線(xiàn)固化

ESD（防靜電）套件

條形碼讀取器

磨刀臺(tái)

360°旋轉(zhuǎn)臺(tái)

SECS-GEM 主機(jī)通信

用戶(hù)界面

17" 平面觸摸屏

新用戶(hù)界面（NUI）

多語(yǔ)言支持

鍵盤(pán)與鼠標(biāo)

設(shè)施

電氣：200-240VAC，50/60Hz，單相

氣源/N2：700 L/分 @ 5.5 bar

500 L/min 壓縮空氣，200 L/min 制程氣體/N2

主軸冷卻水：1.1 L/min

切割用水（去離子水/廠(chǎng)務(wù)端用水）：刀片/過(guò)程冷卻水：高7L/min

尺寸（WXDXH）：

1,100 x 1,785 x 1,700 mm

重量：1,350 kg