本文將介紹日本納普森(Napson)公司生產(chǎn)的 EC-80P(便攜式) 電阻率與方塊電阻測(cè)量?jī)x。這是一款利用**渦流法(Eddy Current Method)**進(jìn)行非接觸、非破壞性測(cè)量的手持設(shè)備。

1. 核心概念:測(cè)量原理與特點(diǎn)
這款設(shè)備最的大的特點(diǎn)是**“非接觸"**,它不需要像傳統(tǒng)四探針?lè)菢哟唐苹蚪佑|樣品表面,而是利用電磁感應(yīng)原理進(jìn)行測(cè)量。
2. 關(guān)鍵數(shù)據(jù):技術(shù)規(guī)格
以下是該設(shè)備的核心技術(shù)參數(shù),涵蓋了它能測(cè)什么以及測(cè)得有多準(zhǔn)。
| 參數(shù)類別 | 詳細(xì)規(guī)格 | 備注 |
|---|
| 測(cè)量對(duì)象 | 半導(dǎo)體(硅、SiC)、新型材料(石墨烯、CNT)、導(dǎo)電薄膜(ITO)、化合物半導(dǎo)體等 | 適用范圍廣泛 |
| 適用尺寸 | 尺寸/形狀不限(需大于 20mmφ 且表面平整) | 探頭直徑為20mm |
| 電阻率范圍 | 1 mΩ·cm ~ 200 Ω·cm | 厚度500μm時(shí) |
| 方塊電阻范圍 | 10 mΩ/□ ~ 3 kΩ/□ | 全探頭總范圍 |
| 設(shè)備尺寸 | 主機(jī):255×275×95mm (4kg) 探頭:20mmφ×80mm | 便攜設(shè)計(jì) |
3. 詳細(xì)測(cè)量范圍(分探頭類型)
為了覆蓋從極低到極的高阻值的材料,該設(shè)備支持更換不同類型的探頭。以下是文檔中列出的詳細(xì)分檔:
低阻探頭: 0.01 ~ 0.5 Ω/□ (對(duì)應(yīng) 0.001 ~ 0.05 Ω·cm)
中阻探頭: 0.5 ~ 10 Ω/□ (對(duì)應(yīng) 0.05 ~ 0.5 Ω·cm)
高阻探頭: 10 ~ 1,000 Ω/□ (對(duì)應(yīng) 0.5 ~ 60 Ω·cm)
超高阻探頭: 1,000 ~ 3,000 Ω/□ (對(duì)應(yīng) 60 ~ 200 Ω·cm)
專用探頭: 太陽(yáng)能晶片專用 (5 ~ 500 Ω/□)
4. 應(yīng)用場(chǎng)景
根據(jù)測(cè)量對(duì)象的分類,這款設(shè)備主要應(yīng)用于以下領(lǐng)域:
半導(dǎo)體行業(yè): 硅片、碳化硅(SiC)、砷化鎵(GaAs)等外延片的檢測(cè)。
新能源行業(yè): 太陽(yáng)能電池材料的評(píng)估。
新材料研發(fā): 碳納米管、石墨烯、銀納米線等新型導(dǎo)電材料的特性分析。
顯示行業(yè): ITO(氧化銦錫)導(dǎo)電薄膜的測(cè)量。
總結(jié)建議:如果你需要在不損壞樣品的前提下,快速檢測(cè)半導(dǎo)體晶圓或?qū)щ姳∧さ碾娮杼匦?,且樣品尺寸大?0mm,這款便攜式渦流儀是一個(gè)非常合適的選擇。