應(yīng)用領(lǐng)域	醫(yī)療衛(wèi)生,能源,綜合

TORAY東麗氧氣分析儀 MS-500

氧氣濃度計半導(dǎo)體、液晶、電子零部件相關(guān)應(yīng)用

最多可以同時測量8個點(diǎn)
可以從ppm級別到100%的廣泛濃度表示。
安裝在半導(dǎo)體制造裝置、真空裝置等上
傳感器為直插式(真空NW法蘭16/25/40)
對高耐久的傳感器施以特殊涂層，進(jìn)一步提高耐久性

測定原理			ジルコニア濃淡電池式
形狀			分離型（変換器：壁掛式、センサ：直挿式）
表示方式			デジタル4桁表示(濃度表示)
測定レンジ			0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O2　10-20～10-0atm 自動レンジ
繰返性			±0.5%FS以內(nèi) 0-1%レンジ以上 ±1%FS以內(nèi)または±0.1ppmの大きい方 0-1%レンジ未満 0-1ppm,atmレンジは濃度保証範(fàn)囲外
測定點(diǎn)數(shù)			1～8
サンプルガス條件	圧力		10-3～200KPa（絶対圧）
	流量		0.5～5,000mL/minまたは0mL/min(自然拡散狀態(tài)の測定)
	濕度		露點(diǎn)が周囲溫度以下
	溫度		0～100℃
	その他		腐食性ガス(フッ素系ガス、塩素系ガス、硫化系ガス等)、有機(jī)シリコンを含むガス、可燃成分(ガスも含む)、油分、水分を含まないこと
比較ガス			大気
記録計出力			伝送出力のみ
伝送出力			RS-232C
警報出力			なし
ウォームアップ時間			6分以內(nèi)
寸法	MS-500(コントローラ)		92(W)×44(H)×120(D)　(突起部含まず)
	MS-510(変換機(jī))		100(W)×40(H)×88(D)　(突起部含まず)
	センサユニット	SD16NW	全長100mm(センシング部Φ11×39,胴體部Φ40×51)
		SD25NW	全長100mm(センシング部Φ11×42,胴體部Φ40×48)
		SD40NW	全長100mm(センシング部Φ11×41,胴體部Φ40×49)
質(zhì)量	MS-500(コントローラ)		約0.6Kg
	MS-510(変換器)		約0.5kｇ
	センサユニット	SD16NW	約0.2Kg
		SD25NW	約0.2Kg
		SD40NW	約0.35Kg
外部接続			真空フランジ(NW16,25,40)のいずれか
使用電源			24VDC±10%

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