產(chǎn)品型號

4 路質(zhì)子混氣管式 PECVD 系統(tǒng)

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下， 溫度 25℃±15℃ ，濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水：不需要

2、電： AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氣體，需自備氣瓶氣源

4、工作臺： 尺寸 1600mm×600mm×700mm ，,承重 150kg 以上

5、通風(fēng)裝置：需要

主要特點(diǎn)

1、內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長儀 器的使用壽命。

2 、輝光放電等離子體中電子密度可達(dá) 109cm3-1012cm3。

3 、電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出 10-100 倍。

4、配有高精度數(shù)字顯示質(zhì)量流量計(jì)，可準(zhǔn)確地控制氣體流量。

5、一個(gè)氣體混氣罐的底部安裝了液體釋放閥。

6、不銹鋼針閥安裝在左側(cè)部分，可手動控制混合氣體的輸入。

7 、已通過 CE 認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

管式爐

1、電源： AC220V    4KW

2、爐管： ?50mm ，?60mm ，?80mm 都可用

3、溫度控制器： 30 段高精度數(shù)字可編程溫度控制器

4、加熱區(qū)： 440mm

5、恒溫區(qū)： 150mm

等離子射頻電源

1、輸入功率： AC220V    1KW

2、輸出功率： 50W-500W 可調(diào)，±1%

3 、RF 頻率： 13.56MHz

4、噪聲：≤55DB

5、冷卻：風(fēng)冷

真空泵和質(zhì)量流量計(jì)

1、真空度： 10-3torr

2、波紋管： KF25 系列

3、質(zhì)量流量計(jì)： 0-200 ，誤差 0.02%，進(jìn)氣口采用國際標(biāo)準(zhǔn)雙卡頭

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸： 管式爐 550mm×380mm×520mm ，供氣及真空系統(tǒng) 600mm×600mm×1250mm

重量： 120kg

可選配件

防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)