產(chǎn)品名稱

電動旋轉臺60x60

信息

適用于硅片的打標等的微小角度調(diào)整用自動平臺。

最大速度60°/sec

平臺臺面材料鋁合金

傳感器型號微型光電傳感器：GP1S097HCZ(夏普(株))

臺面尺寸φ60mm

傳動副間隙0.05°

分辨率(半步)≒0.0027°/脈沖

分辨率(整步)≒0.0053°/脈沖

扭矩剛度1″/N?cm

極限位置傳感器有(常閉)

空行程0.003°

定位精度0.05°

導軌形式滾動軸承

驅(qū)動機構滾珠絲杠＋鋼帶

轉動范圍±5°

近接原點傳感器無

重復定位精度0.003°

原點傳感器有(常開)

最小位移量 (參考數(shù)據(jù))0.5mdeg

自重0.5kg

承載能力29.4N（3.0kgf）

同心度10μm

表面處理黑色氧化

平行度50μm

臺面跳動量0.01mm

傳感器　信號的含義遮光時：輸出晶體管OFF(截止)：極限位置傳感器

遮光時：輸出晶體管ON(導通)：原點傳感器

傳感器　消耗電流60mA以下(單個傳感器20mA以下)

傳感器　輸出端電氣特性NPN集電極開路輸出　DC30V以下50mA以下

傳感器　電源電壓DC5～24V±10％

電機　步距角0.72°

電機　類型5相步進電機　0.75A/相(多摩川精機(株))

電機　型號TS3664N4E10（□24mm）

控制器GSC-01、GIP-101、GSC-02、SHOT-702、SHOT-302GS、SHOT-304GS、HIT-M?HIT-S、PGC-04-U、HSC-103

驅(qū)動器SG-5M?SG-5MA、MC-S0514ZU、SG-514MSC、MC-7514PCL