副標(biāo)題：聚焦離子束技術(shù)的雙重角色：從納尺度精確修復(fù)到高質(zhì)量分析樣品制備

發(fā)布日期： 2023年11月7日
作者： 森德儀器/應(yīng)用技術(shù)部
儀器類(lèi)別： 分析儀器/顯微加工設(shè)備
閱讀時(shí)間： 約12分鐘
關(guān)鍵詞： 聚焦離子束、電路修復(fù)、樣品制備、TEM制樣、FIB-SEM、微納加工、失效分析、森德儀器

摘要

聚焦離子束技術(shù)作為現(xiàn)代微納加工與分析的革命性工具，在缺陷檢測(cè)與失效分析領(lǐng)域扮演著兩大關(guān)鍵角色：一是高精度的納尺度電路修復(fù)，二是用于分析的高質(zhì)量樣品制備。本文深入探討了FIB在這兩個(gè)核心應(yīng)用中的技術(shù)原理、關(guān)鍵設(shè)備配置及操作流程。通過(guò)聚焦的離子束對(duì)材料進(jìn)行精確剝離與選擇性沉積，F(xiàn)IB能夠修復(fù)集成電路中的開(kāi)路、短路等缺陷，或制備出適用于透射電鏡等分析手段的超薄切片。文章強(qiáng)調(diào)，一個(gè)集成了高分辨率掃描電鏡（如蔡司GeminiSEM系列）的FIB-SEM雙束系統(tǒng)是實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)操作與實(shí)時(shí)監(jiān)控的基礎(chǔ)。我們將結(jié)合具體案例，解析如何利用FIB技術(shù)實(shí)現(xiàn)從發(fā)現(xiàn)問(wèn)題（缺陷定位）到解決問(wèn)題（電路修復(fù)）或深入分析（樣品制備）的閉環(huán)，為半導(dǎo)體制造、材料研發(fā)及失效分析實(shí)驗(yàn)室提供高效、可靠的技術(shù)解決方案。

應(yīng)用場(chǎng)景與案例分析

主要應(yīng)用領(lǐng)域

1. 集成電路（IC）與封裝的電路修復(fù)

• 超高精度定位與導(dǎo)航： 需在微米乃至納米尺度上，準(zhǔn)確找到需要修復(fù)的特定電路單元。

• 選擇性材料去除與沉積： 需能精確“切割"（銑削）掉短路的部分，或在開(kāi)路處“焊接"（沉積）上新的導(dǎo)電材料（如鉑、鎢）。

• 實(shí)時(shí)、高分辨率監(jiān)控： 修復(fù)過(guò)程需要高分辨率成像進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控，以確保操作的準(zhǔn)確性并避免損傷周邊結(jié)構(gòu)。

• 電學(xué)性能驗(yàn)證： 修復(fù)后需能原位或簡(jiǎn)易地進(jìn)行電學(xué)連通性測(cè)試。

• 應(yīng)用場(chǎng)景： 在芯片設(shè)計(jì)驗(yàn)證、試生產(chǎn)或產(chǎn)品失效分析中，常遇到金屬互連線(xiàn)開(kāi)路、相鄰線(xiàn)間短路、通孔失效或特定節(jié)點(diǎn)需要重新連接（布線(xiàn)修改）等問(wèn)題。物理性的修復(fù)是驗(yàn)證設(shè)計(jì)、挽救珍貴樣品或進(jìn)行根本原因分析的最后手段。

• 技術(shù)要求：

• 森德儀器適配性： 一套完整的電路修復(fù)方案依賴(lài)于FIB-SEM雙束系統(tǒng)。其中，FIB離子柱負(fù)責(zé)納米級(jí)的銑削與沉積，而與其聯(lián)用的高分辨率場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡（如蔡司GeminiSEM 360）則提供了實(shí)時(shí)導(dǎo)航與監(jiān)控能力。GeminiSEM的亞納米分辨率和優(yōu)異的低電壓成像性能，可以在不損傷敏感電路的前提下，清晰呈現(xiàn)修復(fù)區(qū)域的形貌。其樣品倉(cāng)靈活性和智能導(dǎo)航軟件（如ZEN Connect） 便于導(dǎo)入設(shè)計(jì)圖紙并進(jìn)行坐標(biāo)關(guān)聯(lián)，實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)定位。此外，系統(tǒng)通常需集成多通道氣體注入系統(tǒng)用于不同材料的沉積，并可選配納米探針臺(tái)進(jìn)行原位電學(xué)測(cè)試。

2. 透射電子顯微鏡樣品制備

• 定點(diǎn)、定位能力： 能夠從塊體樣品中，精準(zhǔn)提取包含目標(biāo)特征（如失效點(diǎn)）的微小區(qū)域。

• 超薄切片與終減薄： 將提取的樣品加工至電子束可穿透的厚度，且要求切片內(nèi)損傷小、表面平整。

• 無(wú)污染轉(zhuǎn)移： 將制備好的超薄樣品片（常稱(chēng)為“薄片"或“l(fā)amella"）安全、無(wú)污染地轉(zhuǎn)移到TEM樣品桿上。

• 應(yīng)用場(chǎng)景： TEM能夠提供原子級(jí)分辨率的晶體結(jié)構(gòu)、缺陷和界面信息，是失效分析的工具。然而，TEM要求樣品極薄（通常<100納米），傳統(tǒng)的機(jī)械研磨方法難以對(duì)特定微小區(qū)域（如單個(gè)晶體管、特定的界面、缺陷點(diǎn)）進(jìn)行定位制樣。

• 技術(shù)要求：

• 森德儀器適配性： FIB是當(dāng)今制備高質(zhì)量、定位精確TEM樣品的標(biāo)準(zhǔn)方法。流程通常包括：使用FIB在目標(biāo)區(qū)域兩側(cè)銑削出溝槽，然后用微機(jī)械手（如OmniProbe） 將初步切割的薄片提取、轉(zhuǎn)移至專(zhuān)用TEM樣品臺(tái)上，最后用低束流的FIB對(duì)薄片進(jìn)行終減薄和清潔。在此過(guò)程中，雙束系統(tǒng)中的高分辨率SEM用于精確導(dǎo)航至目標(biāo)區(qū)域、監(jiān)控提取過(guò)程，并評(píng)估最終薄片的質(zhì)量。GeminiSEM的高成像質(zhì)量對(duì)于判斷減薄終點(diǎn)至關(guān)重要。

3. 掃描電鏡與三維表征的樣品制備

• 自動(dòng)化的序列切片： 能夠程序化地執(zhí)行“銑削一層->成像一層"的循環(huán)。

• 高對(duì)比度、高分辨率成像： 每層圖像的質(zhì)量直接影響三維重構(gòu)的精度。

• 大體積數(shù)據(jù)處理能力： 處理海量的切片圖像數(shù)據(jù)。

• 應(yīng)用場(chǎng)景： 當(dāng)需要觀察材料內(nèi)部結(jié)構(gòu)或進(jìn)行三維重構(gòu)時(shí)，傳統(tǒng)SEM只能觀察表面。FIB可以通過(guò)序列切片技術(shù)，逐層銑削并成像，然后將一系列二維圖像重構(gòu)成三維模型。

• 技術(shù)要求：

• 森德儀器適配性： FIB-SEM雙束系統(tǒng)是三維切片與重構(gòu)的理想平臺(tái)。離子束負(fù)責(zé)精確可控的層狀銑削，電子束負(fù)責(zé)對(duì)每個(gè)新暴露的截面進(jìn)行高分辨率成像。蔡司GeminiSEM 360憑借其Gemini電子光學(xué)系統(tǒng)，即使在FIB加工后可能存在的輕微電荷積累情況下，仍能通過(guò)NanoVP模式獲得高質(zhì)量、無(wú)荷電干擾的截面圖像，確保三維數(shù)據(jù)的可靠性。其強(qiáng)大的ZEN core軟件生態(tài)系統(tǒng)（如Atlas 3D模塊）能夠自動(dòng)化整個(gè)切片-成像流程，并高效處理三維重建。

核心技術(shù)要點(diǎn)：FIB-SEM雙束系統(tǒng)在修復(fù)與制樣中的協(xié)同優(yōu)勢(shì)

• 優(yōu)勢(shì)一：實(shí)時(shí)的“眼"與“手"協(xié)同

• 原理： SEM作為高分辨率的“眼睛"，提供實(shí)時(shí)圖像；FIB作為精密的“手術(shù)刀"或“焊筆"，執(zhí)行加工操作。

• 效果： 實(shí)現(xiàn)了“所見(jiàn)即所得"的納米級(jí)操作，極大提升了修復(fù)和制樣的成功率和精度。

• 優(yōu)勢(shì)二：多功能氣體化學(xué)輔助加工

• 原理： 通過(guò)向樣品表面噴射特定氣體前驅(qū)體，在離子束或電子束的激發(fā)下發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，實(shí)現(xiàn)選擇性材料沉積（如導(dǎo)電金屬Pt、絕緣材料SiO?）或增強(qiáng)刻蝕（如對(duì)特定材料更快去除）。

• 效果： 擴(kuò)展了FIB的應(yīng)用范圍，使電路修復(fù)（沉積導(dǎo)電材料）和復(fù)雜樣品制備（沉積保護(hù)層）成為可能。

• 優(yōu)勢(shì)三：從二維到三維的分析能力拓展

• 原理： 結(jié)合FIB的切片能力和SEM的成像能力，實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品內(nèi)部結(jié)構(gòu)的逐層揭示和三維重建。

• 效果： 將失效分析從表面觀察推向全三維立體分析，能夠更完整地理解缺陷的形態(tài)、分布及其與周?chē)Y(jié)構(gòu)的空間關(guān)系。

附錄與參考資料

相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)

• GB/T 38783-2020 《微納米尺度幾何特征測(cè)量 共聚焦激光掃描顯微鏡法》（作為相關(guān)顯微測(cè)量方法參考）

• ASTM E2809-22 《使用雙束（FIB-SEM）系統(tǒng)進(jìn)行三維顯微結(jié)構(gòu)表征的標(biāo)準(zhǔn)指南》

• ISO 16700:2016 《微束分析 掃描電鏡 生物樣品制備指南》（部分制樣原則相通）

• SEMI MF1811 《通過(guò)掃描電子顯微鏡測(cè)量硅片上晶體缺陷的測(cè)試方法》（作為缺陷檢測(cè)的基礎(chǔ)）

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