隨著半導(dǎo)體器件向微型化、高密度方向發(fā)展,封裝工藝對(duì)膠水滴涂的精度提出了更高要求。在半導(dǎo)體封裝中,水滴角測(cè)試就是用來(lái)精確量化這種“膠水是否平鋪"的科學(xué)工具。它測(cè)量的不是水,而是封裝膠水在芯片、基板等固體表面的潤(rùn)濕能力。
水滴角是指水滴在固體表面形成的接觸角,其大小由固體表面張力決定。在膠水滴涂工藝中,我們將“水滴"替換為“膠滴",通過(guò)測(cè)量膠滴在芯片、基板等被點(diǎn)膠物體表面的接觸角,來(lái)量化膠水對(duì)該表面的潤(rùn)濕能力。在半導(dǎo)體封裝中,通常要求基底具有適中的親水性(水滴角40°-70°),以保證膠水既能充分鋪展又不會(huì)過(guò)度流淌。
一、水滴角測(cè)試在半導(dǎo)體封裝膠水滴涂中的具體應(yīng)用
1. 評(píng)估和保證點(diǎn)膠前的表面清潔度與可潤(rùn)濕性。這是最直接和廣泛的應(yīng)用,在點(diǎn)膠之前,芯片的背面、基板或引線框架的表面必須處于高度清潔和活化的狀態(tài),以確保膠水能良好鋪展和附著。
2. 優(yōu)化和篩選封裝膠水。不同的封裝膠水(如環(huán)氧樹(shù)脂、硅膠等)因其化學(xué)成分不同,對(duì)同一表面的潤(rùn)濕性也不同。通過(guò)對(duì)比不同膠水在同一標(biāo)準(zhǔn)基板上的接觸角,可以快速篩選出潤(rùn)濕性更佳、鋪展更均勻的膠水。
3. 驗(yàn)證表面處理工藝的有效性。為了改善潤(rùn)濕性,半導(dǎo)體封裝中常使用等離子清洗對(duì)表面進(jìn)行處理。處理前后的接觸角數(shù)據(jù)對(duì)比是衡量等離子清洗效果最直觀的指標(biāo)。有效的處理會(huì)使接觸角顯著減?。ɡ鐝?0°降至20°以下)。
4. 預(yù)測(cè)和控制點(diǎn)膠后的膠水形態(tài)。膠水的最終形態(tài)直接影響封裝的可靠性和性能,膠水的最終形態(tài)直接影響封裝的可靠性和性能。
二、測(cè)試方法
使用經(jīng)緯儀器接觸角測(cè)量?jī)xJW15S,在潔凈的半導(dǎo)體基底表面滴加2μL超純水,通過(guò)高速相機(jī)記錄液滴形態(tài),采用Young-Laplace方程計(jì)算靜態(tài)水滴角。每個(gè)樣品測(cè)試5個(gè)點(diǎn)位,取平均值作為最終結(jié)果。
下面舉例說(shuō)明通過(guò)對(duì)三種不同表面處理的硅片進(jìn)行測(cè)試:
1. 等離子處理表面:水滴角35.2°±1.5°,表現(xiàn)為超親水性,膠水鋪展速度過(guò)快,易導(dǎo)致膠層厚度不均。
2. 未處理表面:水滴角78.6°±2.1°,疏水性較強(qiáng),膠水收縮明顯,易產(chǎn)生空隙。
3. 優(yōu)化處理表面:水滴角52.3°±1.2°,親水性適中,膠水鋪展均勻,形成理想膠層輪廓。
以某存儲(chǔ)器芯片封裝項(xiàng)目為例,初始水滴角變異較大(45°-85°),導(dǎo)致膠水爬升高度差異達(dá)30%。通過(guò)引入水滴角實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè),優(yōu)化清洗工藝后:
1)水滴角標(biāo)準(zhǔn)差從8.2°降至1.5°
2)膠層均勻性提升40%
3)封裝良率提高3.2%
在高度自動(dòng)化和追求Ji致可靠性的半導(dǎo)體封裝中,“憑經(jīng)驗(yàn)看"是wan全不可接受的。水滴角測(cè)試將“看起來(lái)干不干凈"、“感覺(jué)粘不粘得住"這些主觀判斷,轉(zhuǎn)化為了客觀、可量化的數(shù)據(jù)。 因此,在半導(dǎo)體封裝的膠水滴涂工藝中測(cè)試水滴角,根本目的是為了實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)的精密制造,從最微觀的界面層面保障最終封裝產(chǎn)品的性能和可靠性。 它是一項(xiàng)bi不可少的、核心的工藝控制與質(zhì)量保證措施。
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