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半導(dǎo)體晶圓劃片機(jī)對(duì)傳動(dòng)精度、穩(wěn)定性和潔凈度要求較高，尼得科旗下有多個(gè)系列減速機(jī)可滿足其微米級(jí)定位需求，其中VRS 系列、FLEXWAVE D/WPC 系列、ABLE/VRT 系列是優(yōu)先之選，它們憑借極小背隙和高剛性適配設(shè)備核心工況，具體適配優(yōu)勢(shì)如下：
一、VRS 系列
該系列是尼得科新寶的gao端行星減速機(jī)，堪稱晶圓劃片機(jī)這類精密設(shè)備的適配優(yōu)選。其行星斜齒輪經(jīng)過(guò)滲碳淬火處理，齒面粗糙度控制在 Ra0.4μm 以內(nèi)，標(biāo)準(zhǔn)型背隙≤3 弧分，高精度型更是能壓縮到≤1 弧分，搭配伺服電機(jī)使用時(shí)，可讓設(shè)備末端執(zhí)行精度達(dá)到 ±0.01mm，契合劃片機(jī)的微米級(jí)定位需求。而且該系列像 VRS - 075B 這類型號(hào)，還能搭配食品級(jí)潤(rùn)滑脂與全密封結(jié)構(gòu)，滿足 Class 100 潔凈車(chē)間標(biāo)準(zhǔn)，避免粉塵污染晶圓，同時(shí)其額定扭矩和抗沖擊載荷能力較強(qiáng)，能抵御劃片機(jī)切割時(shí)的瞬時(shí)沖擊，保障切割軌跡誤差≤±0.005mm。此外該系列功率覆蓋 0.1kW - 15kW，可適配劃片機(jī)不同功率驅(qū)動(dòng)單元，安裝兼容性也強(qiáng)，無(wú)需定制轉(zhuǎn)接件就能對(duì)接主流伺服電機(jī)。
二、FLEXWAVE D/WPC 系列
這一系列屬于偏平型高精度諧波類減速機(jī)，核心優(yōu)勢(shì)是ji致的傳動(dòng)精度，背隙可控制在 1 弧分以內(nèi)，甚至能實(shí)現(xiàn)近乎零背隙的傳動(dòng)效果，這種特性讓它在晶圓劃片機(jī)的精準(zhǔn)定位環(huán)節(jié)表現(xiàn)突出，能保障劃片時(shí)的重復(fù)定位精度，契合微米級(jí)作業(yè)要求。它采用封閉式組件設(shè)計(jì)，既能防止灰塵、雜質(zhì)侵入內(nèi)部影響精度，也能避免潤(rùn)滑脂泄漏污染晶圓生產(chǎn)環(huán)境，適配半導(dǎo)體制造的潔凈要求。同時(shí)其緊湊的超薄剖面設(shè)計(jì)，能適配劃片機(jī)內(nèi)部有限的安裝空間，且高扭矩密度特性可在小體積內(nèi)輸出強(qiáng)勁扭矩，匹配劃片機(jī)刀具高速切割時(shí)的動(dòng)力需求，常被用于晶圓搬運(yùn)系統(tǒng)、芯片封裝等半導(dǎo)體關(guān)鍵設(shè)備，同樣適配劃片機(jī)的核心傳動(dòng)場(chǎng)景。
三、ABLE/VRT 系列
該系列以高精度、高剛性和高扭矩為核心特點(diǎn)，可滿足半導(dǎo)體裝置等高精度要求設(shè)備的需求。在傳動(dòng)過(guò)程中能保持穩(wěn)定的低背隙表現(xiàn)，可精準(zhǔn)轉(zhuǎn)化伺服電機(jī)的動(dòng)力，保障劃片機(jī)刀具運(yùn)動(dòng)的精準(zhǔn)度，契合微米級(jí)定位的基礎(chǔ)需求。另外該系列還具備不漏油、維護(hù)方便的優(yōu)勢(shì)，且能適配全球多數(shù)品牌電機(jī)，安裝靈活，對(duì)于劃片機(jī)這類需要長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行、且維護(hù)需盡量減少停機(jī)時(shí)間的設(shè)備來(lái)說(shuō)，能降低運(yùn)維成本，同時(shí)避免漏油污染晶圓，適配半導(dǎo)體生產(chǎn)的嚴(yán)苛環(huán)境。
