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電容薄膜真空計(jì)校準(zhǔn)要注意的5個(gè)小細(xì)節(jié)
電容薄膜真空計(jì)包含真空規(guī)管和測(cè)量電路兩個(gè)部分。其中，真空規(guī)管將真空度轉(zhuǎn)化成電容量，測(cè)量電路對(duì)電容量進(jìn)行處理得到真空度的值。MEMS電容薄膜真空規(guī)管初始電容量的范圍為幾到幾十皮法，其電容變化量為幾飛法甚至更小。電容薄膜真空規(guī)管的敏感電容具有不同結(jié)構(gòu)，包括單側(cè)電極結(jié)構(gòu)、雙側(cè)電極結(jié)構(gòu)以及靜電力平衡結(jié)構(gòu)，不同結(jié)構(gòu)的敏感電容其電容變化量不同。
校準(zhǔn)電容薄膜計(jì)時(shí),應(yīng)注意以下五點(diǎn):
(1)傳感器調(diào)零時(shí),首先應(yīng)用標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)將控制線路的零點(diǎn)和滿度調(diào)好,將溫度補(bǔ)償器調(diào)到所需要的位置上,測(cè)量中不可隨意變動(dòng)。
(2)傳感器調(diào)零應(yīng)在其預(yù)熱4小時(shí)后進(jìn)行,必要時(shí)可(10～24)小時(shí)的恒溫加熱,才能使電容規(guī)達(dá)到較佳零點(diǎn),也才能測(cè)得更準(zhǔn)確。
(3)傳感器調(diào)零的位置,應(yīng)比校準(zhǔn)范圍下限低2～3個(gè)量級(jí)。如量程是1000Torr,則校準(zhǔn)范圍是133.3Pa～133300Pa。零點(diǎn)在真空系統(tǒng)抽到1.3Pa或0.13Pa位置左右時(shí)才能調(diào)節(jié),其余量程以此類推。
(4)調(diào)零以后,校準(zhǔn)過程中環(huán)境溫度不能有驟然變化的現(xiàn)象發(fā)生。
(5)在校準(zhǔn)過程中,避免傳感器過大的振動(dòng)。
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