電容薄膜真空計具有測量精密度高、測量線性度好、計量可重復(fù)性好，而且測量與氣體成分無關(guān)等杰出的優(yōu)點，所以自從它問世以來，受到了計量科學(xué)界的高度重視，一百多年以來，一代又一代性能更*的不斷涌現(xiàn)，技術(shù)日臻完善，應(yīng)用迅速擴展，尤其顯著的是，過去以汞金屬（水銀）為標準器的各級真空壓力標準已逐步為精密而可靠的高精度的薄膜真空計所取代，工業(yè)自動控制系統(tǒng)中的高精度壓力傳感器、真空傳感器才有了真正實用的精密在線測控系統(tǒng)，才有了現(xiàn)在的化工、醫(yī)藥、新能源，新材料、半導(dǎo)體、微電子、核能科學(xué)、等等現(xiàn)代工業(yè)技術(shù)的新發(fā)展。

但是， 其最大的缺點是價格昂貴、結(jié)構(gòu)嬌貴、使用環(huán)境要求高，尤其是進口品牌的真空規(guī)，在許多環(huán)境條件苛刻的情況下不能正常使用，這些對于我們國產(chǎn)高精度薄膜真空計提出了新的挑戰(zhàn)；因此也產(chǎn)生了一個新的薄膜真空計的全新產(chǎn)品系列：高精度特型電容薄膜真空計系列。

高精度特型電容薄膜真空計系列，目前已研制成功并投入使用的主要型號類型有：高溫型、低溫型、抗腐蝕型、防爆型（Exia。。。）、工業(yè)防護型（IP68）、太空環(huán)境型（絕對真空度）、微功耗型、無電磁輻射型（無源 真空計）等十多個專項，將在本欄目陸續(xù)詳細介紹并廣泛征求客戶意見，歡迎大家關(guān)注國產(chǎn)薄膜真空計，大力支持國產(chǎn)薄膜真空計。

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本集先從電容薄膜真空計的基本原理開始敘述：

隔膜材料通常使用厚度為幾十微米的因科內(nèi)爾鉻鎳鐵合金(Inconel)。為避免腐蝕氣體的腐蝕，也有使用陶瓷隔膜的產(chǎn)品，但是一般來說其靈敏度、測量分辨率往往會受到一定的限制，