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真空程控型勻膠機(jī)是一種通過真空吸附基片、程序化控制轉(zhuǎn)速曲線實(shí)現(xiàn)液體/膠狀材料精密成膜的關(guān)鍵設(shè)備，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光電子等領(lǐng)域的薄膜制備。
真空程控型勻膠機(jī)工作時(shí)將樣品用粘接的方法固定在載樣盤上，然后開動(dòng)勻膠機(jī)將設(shè)備轉(zhuǎn)數(shù)設(shè)置在一定的轉(zhuǎn)數(shù)范圍內(nèi)，在此轉(zhuǎn)數(shù)范圍內(nèi)設(shè)置一定的注膠時(shí)間對(duì)樣品進(jìn)行注膠，注膠結(jié)束后勻膠機(jī)會(huì)提升轉(zhuǎn)數(shù)限轉(zhuǎn)數(shù)進(jìn)行勻膠，在勻膠之前要對(duì)勻膠時(shí)間進(jìn)行設(shè)置，當(dāng)勻膠時(shí)間結(jié)束后機(jī)器自動(dòng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)，涂膜的整個(gè)過程結(jié)束。
產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)：
75W直流無刷電機(jī)，單片機(jī)控制。
高清晰文本顯示器。
可單步和多步勻膠操作。
防堵膠設(shè)計(jì)。
PP耐腐蝕內(nèi)腔，可更換。
耐溶劑PC透明蓋。
耐腐蝕易清潔PP外殼。
多角度定位鉸鏈設(shè)計(jì)。
鋁質(zhì)合金真空吸盤。
關(guān)鍵技術(shù)與維護(hù)：
真空系統(tǒng)管理：
真空度調(diào)節(jié)：拔出旋鈕順時(shí)針增壓，逆時(shí)針減壓，完成后按壓鎖定；
吸附力下降時(shí)，向抽氣孔滴入酒精/丙酮清洗管路。
腔體防護(hù)：
聚四氟乙烯材質(zhì)腔體：耐化學(xué)腐蝕，適配強(qiáng)酸/溶劑環(huán)境；
開蓋保護(hù)功能：運(yùn)行中開蓋自動(dòng)停機(jī)，避免溶液飛濺。
日常維護(hù)：
廢液瓶每日清理，防止堵塞排液口；
吸盤更換：六角扳手逆時(shí)針卸下舊吸盤，新吸盤槽口對(duì)齊螺絲安裝。
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