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CCI HD非接觸式白光干涉輪廓儀信息

來源:篤摯儀器(上海)有限公司    2025年08月18日 17:28  

CCI HD非接觸式白光干涉輪廓儀基礎(chǔ)測(cè)量:提供尺寸和粗糙度測(cè)量功能。

膜厚測(cè)量:支持兩種類型的膜厚測(cè)量,涵蓋厚膜和薄膜涂層:

厚膜測(cè)量:可研究厚度至約 1.5 微米的半透明涂料,測(cè)量限制取決于材料的折射率和標(biāo)的物的 NA。

薄膜測(cè)量:能測(cè)量厚度至 50 納米的薄膜涂層(同樣取決于折射率),且通過干涉測(cè)量法,可在單次測(cè)量中同時(shí)研究膜厚、界面粗糙度、針孔缺陷以及薄涂層表面的剝離等特性。

技術(shù)特點(diǎn)

采用享有優(yōu)勢(shì)的新型關(guān)聯(lián)算法,用于查找由精密光學(xué)掃描裝置產(chǎn)生的干涉圖的相干峰和相位,整合了非接觸式尺寸測(cè)量功能和良好的厚薄膜測(cè)量技術(shù),能應(yīng)對(duì)薄膜涂層測(cè)量難度更高的挑戰(zhàn)。


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