手機版
化工儀器網(wǎng)手機版
化工儀器網(wǎng)小程序
官方微信
公眾號：chem17
掃碼關(guān)注視頻號
旋涂儀又稱勻膠機、甩膠機等，是一種用于在基片表面均勻涂覆液體薄膜的設(shè)備。是一種廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、半導(dǎo)體制造、微電子、光學(xué)和生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域的實驗室及生產(chǎn)設(shè)備，其核心功能是在基片(如硅片、玻璃片、聚合物片等)表面均勻涂覆液體薄膜(如光刻膠、聚合物溶液、生物材料等)。
將液體材料滴加到靜止或低速旋轉(zhuǎn)的基片中心，基片在電機驅(qū)動下高速旋轉(zhuǎn)，離心力使液體材料從中心向外鋪展，隨著旋轉(zhuǎn)速度穩(wěn)定，液體材料在基片表面形成均勻的薄膜。對于含溶劑的液體，旋轉(zhuǎn)過程中溶劑揮發(fā)，形成固態(tài)或半固態(tài)薄膜。
旋涂儀通過高速旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的離心力，使液體材料均勻鋪展并形成厚度可控的薄膜。具體過程如下：
滴液：將液體材料(如光刻膠)滴加到靜止或低速旋轉(zhuǎn)的基片中心。
加速旋轉(zhuǎn)：基片在電機驅(qū)動下高速旋轉(zhuǎn)，離心力使液體材料從中心向外鋪展。
薄膜形成：隨著旋轉(zhuǎn)速度穩(wěn)定，液體材料在基片表面形成均勻的薄膜。
溶劑揮發(fā)(可選)：對于含溶劑的液體，旋轉(zhuǎn)過程中溶劑揮發(fā)，形成固態(tài)或半固態(tài)薄膜。
主要特點
高均勻性：能實現(xiàn)納米級厚度均勻性(±2% 以內(nèi))，適用于對薄膜均勻性要求很高的工藝，如光刻膠涂覆、抗反射涂層制備等。
厚度可控：通過調(diào)整旋轉(zhuǎn)速度、涂布時間和材料黏度等參數(shù)，可以準(zhǔn)確控制涂層的厚度。
適用范圍廣：適用的材料種類廣泛，包括聚合物溶液、光刻膠、油墨、涂料等，還可用于硅片、玻璃、金屬等不同材質(zhì)的基板。
操作注意事項
操作時需選擇合適的吸附盤，將基片放正，開啟真空泵確保基片吸住后再啟動旋轉(zhuǎn)。滴膠動作要快，在規(guī)定時間內(nèi)完成。電機停轉(zhuǎn)后，才能打開上蓋取下片子，且要定期對抽氣室進行清洗，防止膠液吸入堵塞氣路。
相關(guān)產(chǎn)品
免責(zé)聲明
- 凡本網(wǎng)注明“來源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明“來源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。
- 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源（非化工儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點和對其真實性負責(zé)，不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源，并自負版權(quán)等法律責(zé)任。
- 如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題，請在作品發(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。
采購中心