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美國(guó)API激光干涉儀XD Laser信息

來(lái)源:篤摯儀器(上海)有限公司    2025年11月17日 17:22  

XD Laser的核心優(yōu)勢(shì)在于其強(qiáng)大的多自由度同步測(cè)量能力,突破了傳統(tǒng)干涉儀單次僅能測(cè)量單一參數(shù)的技術(shù)瓶頸。在1D/3D/5D/6D多種配置中,旗艦級(jí)6D型號(hào)尤為突出——僅需一次安裝,即可同步完成六項(xiàng)關(guān)鍵幾何誤差參數(shù)的檢測(cè),包括線性定位誤差、X/Y雙方向直線度,以及俯仰角、偏擺角和滾動(dòng)角。這一創(chuàng)新將傳統(tǒng)動(dòng)輒數(shù)天的檢測(cè)流程大幅壓縮至數(shù)小時(shí),效率提升高達(dá)5倍,時(shí)間節(jié)省超過(guò)80%。一體化測(cè)量設(shè)計(jì)有效避免了反復(fù)裝調(diào)引入的累積誤差,顯著提升了數(shù)據(jù)的一致性與穩(wěn)定性。

在精度方面,XD Laser:標(biāo)準(zhǔn)型線性測(cè)量精度達(dá)0.5 ppm,精密型更可實(shí)現(xiàn)0.2 ppm的超高精度;角度測(cè)量分辨率低至0.01角秒。


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