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掃描探針顯微鏡的工作模式有哪些?

來(lái)源:北京派迪威儀器有限公司    2025年11月28日 11:42  
掃描探針顯微鏡(SPM)是包含掃描隧道顯微鏡(STM)、原子力顯微鏡(AFM)等多個(gè)分支的顯微鏡家族,不同分支因核心檢測(cè)原理不同,工作模式存在顯著差異,其中STM和AFM的應(yīng)用最為廣泛,具體工作模式如下:
 
掃描隧道顯微鏡(STM)
 
STM依靠探針與樣品間的隧道電流成像,核心有兩種基礎(chǔ)工作模式,適配不同樣品表面情況:
 
恒流模式:這是STM很常用的模式。掃描時(shí)反饋回路會(huì)控制隧道電流始終保持恒定,意味著探針與樣品表面的相對(duì)距離不變。探針在XY平面掃描過(guò)程中,會(huì)通過(guò)Z軸方向的上下移動(dòng)來(lái)適配樣品表面起伏,Z軸的運(yùn)動(dòng)軌跡就對(duì)應(yīng)著樣品的表面形貌,適合大多數(shù)表面起伏的樣品成像。
 
恒高模式:掃描時(shí)探針的高度保持固定,不開(kāi)啟反饋調(diào)節(jié)。此時(shí)樣品表面的起伏會(huì)改變探針與樣品的間距,進(jìn)而導(dǎo)致隧道電流發(fā)生變化,通過(guò)記錄隧道電流的波動(dòng)就能反映樣品形貌。該模式掃描速度快,可觀察樣品表面動(dòng)態(tài)過(guò)程,但僅適用于表面起伏極小的樣品,否則易出現(xiàn)探針與樣品碰撞損壞的情況。
 
原子力顯微鏡(AFM)
 
AFM通過(guò)檢測(cè)探針與樣品間的微弱作用力成像,工作模式更豐富,既涵蓋基礎(chǔ)形貌成像模式,也有適配特殊檢測(cè)需求的拓展模式:
 
基礎(chǔ)形貌成像模式
 
接觸模式:探針與樣品表面持續(xù)接觸,依靠原子間的排斥力工作。反饋系統(tǒng)會(huì)維持懸臂梁彎曲度恒定(即作用力不變),探針Z軸方向的運(yùn)動(dòng)記錄樣品形貌。該模式成像分辨率高,但探針在樣品表面滑動(dòng),可能損傷軟樣品(如生物大分子)。
 
非接觸模式:探針不接觸樣品,懸臂梁被驅(qū)動(dòng)在共振頻率略高的位置振動(dòng)。當(dāng)探針靠近樣品時(shí),長(zhǎng)程范德華吸引力會(huì)使懸臂梁振幅減小,系統(tǒng)維持振幅恒定并掃描成像。此模式對(duì)樣品損傷小,適合脆弱樣品,但分辨率略低于接觸模式,操作難度較高。
 
間歇接觸模式(輕敲模式):結(jié)合了接觸模式和非接觸模式的優(yōu)點(diǎn)。懸臂梁在共振頻率附近振動(dòng),探針在每個(gè)振動(dòng)周期中短暫“敲擊”樣品表面后離開(kāi)。通過(guò)維持振幅恒定成像,既保證了分辨率,又避免了持續(xù)接觸對(duì)樣品的損傷,常用于生物大分子、聚合物等軟樣品檢測(cè)。
 
特殊功能拓展模式
 
橫向力顯微鏡(LFM):基于接觸模式,通過(guò)檢測(cè)懸臂梁的扭轉(zhuǎn)程度來(lái)反映探針與樣品間的摩擦力分布,可用于分析樣品表面的摩擦特性。
 
靜電力顯微鏡(EFM):給探針施加電荷,在非接觸狀態(tài)下探測(cè)樣品表面的電荷分布,適用于研究材料的電學(xué)特性。
 
磁力顯微鏡(MFM):探針覆蓋永磁材料,可檢測(cè)樣品不同磁疇的磁力分布,常用于磁性材料的微觀磁結(jié)構(gòu)分析。
 
相位成像模式:通過(guò)記錄懸臂梁振動(dòng)相位的變化成像,相位變化與樣品的硬度、粘性等物理性質(zhì)相關(guān),能區(qū)分樣品表面不同組分的材質(zhì)差異。
 
扭轉(zhuǎn)共振模式(TR模式)等智能模式:多為現(xiàn)代AFM的優(yōu)化模式,可提升成像穩(wěn)定性和效率,適配復(fù)雜樣品的高精度檢測(cè)。

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