在薄膜制作工藝中，某些金屬有機化合物（MOCs）、氫化物、氨氣等前驅(qū)體蒸氣壓遠遠低于標準大氣壓（760 Torr），在常溫下很難蒸發(fā)。這些前驅(qū)體需要被輸送到化學氣相沉積(CVD)反應器中，傳統(tǒng)的方法是，使用溶劑/溶質(zhì)化學和液體輸送。某些固體前驅(qū)體有溶解度限制，這影響了輸送到工藝腔的最大質(zhì)量流量。

    我們采用了先進的壓力測量和控制技術(shù)，可直接控制固體前驅(qū)體蒸汽的輸送，無需使用溶劑，從而實現(xiàn)精確、可重復的輸送，讓薄膜材料制備更加高效。

針對不同領(lǐng)域?qū)α髁糠秶男枨螅覀兊牡驼魵鈮嚎刂破鲀?nèi)置了強大的CPU，可實現(xiàn)寬范圍的智能流量控制，控制范圍為全量程的10%~100%。

此低蒸氣壓控制器可在30℃~200℃的操作溫度范圍內(nèi)保持穩(wěn)定測控，適用于惡劣環(huán)境。采用Modbus協(xié)議（RS485/232），輕松實現(xiàn)與計算機或其他設備的連接，進行數(shù)據(jù)通信和遠程控制。

廣泛應用于各行業(yè)的薄膜制作工藝，如半導體的集成電路制造、光伏薄膜太陽能電池、新材料研發(fā)、醫(yī)療器械生物傳感器等眾多行業(yè)，通過關(guān)鍵性薄膜工藝，賦能各行業(yè)生產(chǎn)高質(zhì)量薄膜材料。

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