激光加工技術(shù)是指利用高功率密度激光束與材料相互作用，實現(xiàn)切割、焊接、打孔及表面處理等工藝技術(shù)，已成為了制造領(lǐng)域的重要加工環(huán)節(jié)，它可以實現(xiàn)納米級加工分辨率，覆蓋半導(dǎo)體、3C、新能源、醫(yī)療等多個領(lǐng)域。

加工表面質(zhì)量

決定產(chǎn)品品質(zhì)

脈沖激光加工后，產(chǎn)品表面會出現(xiàn)納米級到微米級的形貌起伏、燒蝕坑、微裂紋等，這些微觀變化都有可能使部件失效、材料抗性下降等，需要精準(zhǔn)把控其表面微觀形貌和粗糙度。

這不僅是品質(zhì)把控的重要環(huán)節(jié)，廠家也可以借此反向優(yōu)化激光功率等加工參數(shù)，從根源提升產(chǎn)品品質(zhì)和生產(chǎn)效率。

加工精度高

測量難度大

脈沖激光加工后，測量表面微觀形貌和粗糙度存在多重技術(shù)難題：

• 微觀結(jié)構(gòu)復(fù)雜：脈沖激光加工的微孔、溝槽、燒蝕坑等微結(jié)構(gòu)較為復(fù)雜，探針式輪廓儀難以測量整個面的微觀三維形貌。

• 測量精度要求較高：不同區(qū)域的加工差異，可能會產(chǎn)生微裂紋、顆粒、燒蝕坑等復(fù)雜微小特征，接觸式輪廓儀的探針分辨率不足；若是測量超光滑樣品的表面粗糙度，接觸式粗糙度儀的精度也難以滿足。

• 材料物性干擾：高反射率的材料表面反射率會比較高，使用激光共聚焦顯微鏡測量容易受干擾；如果使是軟質(zhì)材料，接觸式輪廓儀也難以測量。

那么，什么儀器可以高效、精準(zhǔn)測量表面微觀形貌和粗糙度呢？

以光為尺

優(yōu)可測破解測量難題

面對脈沖激光加工后的測量需求，優(yōu)可測白光干涉儀以亞納米級精度，精準(zhǔn)捕捉脈沖激光加工后的微觀形貌特征和表面粗糙度，助力激光加工科研項目，幫助企業(yè)產(chǎn)品良率提升30%。

• 晶圓激光加工后深度測量：

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晶圓大深度測量

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晶圓高度差、粗糙度

• LIBS燒蝕坑形貌分析：

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LIBS體積、臺階測量

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LIBS燒蝕坑形貌深度

• 金屬件激光加工形貌、臺階測量：

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鋼片激光加工形貌

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器件形貌臺階測量

• 激光雕刻、加工后形貌、粗糙度測量：

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激光雕刻形貌

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加工器件表面粗糙度

優(yōu)可測白光干涉儀重復(fù)性0.002nm，掃描速度400μm/s，滿足多種測量場景需求，讓每一處微觀形貌變化都可被測量、每一組加工參數(shù)都被可優(yōu)化，助力制造業(yè)更上一層樓。