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半導體制造中的蝕刻液精確投加定量泵高精度計量泵

來源:鈴田(上海)科技有限公司    2026年03月07日 15:03  

日本IWAKI 易威奇高精度計量泵/ 定量泵系列,是工業(yè)領(lǐng)域廣泛使用的高精度計量設(shè)備,具備耐腐蝕、運行平穩(wěn)、控制精準等特點,適用于化工、環(huán)保、水處理、半導體等多個行業(yè)。

主要系列及特點

  1. ?ES系列電磁隔膜計量泵?

    • 屬于經(jīng)濟型電磁驅(qū)動泵,結(jié)構(gòu)緊湊、重量輕,適合OEM設(shè)備配套使用。

    • 流量可達400 mL/min,出口壓力1.0 MPa,適用于低流量、高精度加藥場景。

    • 泵頭材質(zhì)為PVC,接液部件具有優(yōu)良的耐腐蝕性,適合輸送多種化學藥液。


  2. ?EHN系列電磁隔膜計量泵?

    • 采用脈沖控制技術(shù),調(diào)節(jié)精度高,支持寬電壓輸入(AC100–240V),適應(yīng)電源標準。

    • 具備良好的耐酸堿性能,常用于PCB、電鍍、水處理等行業(yè)的化學藥液添加。


  3. ?IX-C系列直動式隔膜計量泵?

    • 實現(xiàn)0.08–150 L/h的寬流量范圍,定量精度達±1%,適合對精度要求的工藝流程。

    • 節(jié)能設(shè)計,功耗比傳統(tǒng)電機泵降低約70%,并具備IP65防護等級,防塵防水。

    • 支持模擬信號、脈沖信號自動控制,可集成于自動化系統(tǒng)中。

  4. ?LK系列機械隔膜計量泵?

    • 采用雙偏心凸輪機構(gòu),運行穩(wěn)定,出口壓力可達1.5 MPa,適用于高壓加藥場合。

    • 材質(zhì)可選SUS316、PVC、PVDF,適應(yīng)不同介質(zhì)和溫度條件(液溫范圍0–80℃)。


  5. ?AX系列柱塞計量泵?

    • 高壓型設(shè)計,適用于顯微注射、高揚程輸送等特殊工況,具備高耐用性和長期穩(wěn)定性。

    • 可承受更高粘度液體(達500 mPa·s),適合高濃度或高粘性化學品輸送。

應(yīng)用行業(yè)

  • 化工生產(chǎn)中的酸堿添加

  • 半導體制造中的蝕刻液精確投加

  • 污水處理中的絮凝劑、消毒劑投加

  • 食品飲料行業(yè)的添加劑定量注入

 通用優(yōu)勢與選型要點

材質(zhì)多樣性:PVDF、PTFE、陶瓷、SUS316,耐強酸強堿與有機溶劑

控制接口:從手動、4–20 mA、脈沖、Modbus 到 PROFIBUS,適配 DCS/PLC

選型順序:確定流量 - 壓力 - 介質(zhì)腐蝕性 / 粘度 / 含固量 → 選驅(qū)動類型(電磁 / 機械 / 直驅(qū) / 柱塞) → 確認控制與防爆需求


日本IWAKI易威奇IX系列,新世代計量泵技術(shù)

滿足當今行業(yè)自動化學品輸送的需求,高精度定量泵IX-B007、IX-B015、 IX-B-030、IX-B045、 IX-C060、 IX-C150 、IX-D150 、IX-D300

日本IWAKI易威奇EHN系列

寬電壓、配置型數(shù)字控制器的電磁定量泵

日本IWAKI易威奇電磁定量泵EHN-BN11、 EHN-BN16 、EHN-BN21 、EHN-BN31 、EHN-CN16 、EHN-CN21、 EHN-CN31 、EHN-CN36

日本IWAKI易威奇電磁定量泵自動排氣型EHN-NAE、日本IWAKI易威奇電磁定量泵高壓縮比型EHN-55、日本IWAKI易威奇電磁定量泵高壓型EHN-H

日本IWAKI易威奇EWN-W系列寬電壓、水質(zhì)控制適用的電磁定量泵

EWN-Y系列日本IWAKI易威奇電磁定量泵配備革命性EFS流量傳感器,提供精確的流量監(jiān)測、反饋和控制

日本IWAKI易威奇大流量電磁定量泵EH-E系列

AX系列流程用定量泵日本IWAKI易威奇,

高精度和可靠性AX系列是高精度和高可靠性的定量泵,精度≦±1%,直線性≦±2%,再現(xiàn)性≦±2%。其驅(qū)動單元經(jīng)特殊設(shè)計,可滿足長期連續(xù)運行的要求。

IWAKI METERING PUMP直驅(qū)隔膜式定量泵LK/LK-F系列應(yīng)對化學品投藥工藝的多樣化需求,多種泵型及材質(zhì)可供選擇

易威奇IWAKI直驅(qū)隔膜式定量泵LK-F57VC法蘭連接型、LK-F57S6不銹鋼泵頭型、LK-32VCH軟管連接型、LK-32VC法蘭連接型、LK-32VCU聯(lián)管節(jié)連接型、LK-21S6不銹鋼泵頭型、LK-C86VC1.5kW PVC泵頭型、LK-B65VC0.75kW PVC泵頭型、LK-B75S40.75kW 不銹鋼泵頭型

IWAKI易威奇HRP系列高精度、超小型定量泵,直流、水平/垂直泵頭HRP系列采用12V或24V直流供電,適于內(nèi)置,是理想的整合入設(shè)備器件??伸`活選取水平/垂直泵頭,化配合主機的安裝。


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