PZT 壓電陶瓷材料極化與壓電性能綜合測(cè)試案例
PZT 壓電陶瓷材料極化與壓電性能綜合測(cè)試案例
***高校材料實(shí)驗(yàn)案列
(使用設(shè)備:ZJ-3 精密 D33 測(cè)試儀 + PZT-JH10/4 壓電極化裝置 + JKZC-YDZK03A 壓電阻抗分析儀)
一、實(shí)驗(yàn)?zāi)康?/span>
對(duì)燒結(jié)、被銀后的 PZT-5H 壓電陶瓷圓片進(jìn)行高溫硅油極化,并系統(tǒng)測(cè)試壓電常數(shù) d33、諧振 / 反諧振頻率、介電常數(shù)、機(jī)電耦合系數(shù) kp、機(jī)械品質(zhì)因數(shù) Qm,完成材料壓電性能完整表征。
二、實(shí)驗(yàn)樣品與設(shè)備
· 樣品:PZT-5H 壓電陶瓷,φ10 mm×1 mm,雙面燒銀電極
· 極化設(shè)備:PZT-JH10/4 壓電極化裝置(10 kV/4 工位,硅油?。?/span>
· d33 測(cè)試:ZJ-3 精密 D33 測(cè)試儀(準(zhǔn)靜態(tài),量程 ×1 檔:10–2000 pC/N)
· 阻抗 / 介電測(cè)試:JKZC-YDZK03A 壓電阻抗分析儀
三、實(shí)驗(yàn)流程
1. 樣品預(yù)處理
1. 檢查電極完整、無短路、無掉銀
2. 無水乙醇擦拭,烘干,室溫靜置
2. 高壓極化(PZT-JH10/4)
1. 向極化缸注入絕緣硅油,浸沒樣品架
2. 將樣品垂直放入夾具,保證電極接觸良好
3. 關(guān)閉缸蓋,設(shè)置參數(shù):
o 溫度:100℃
o 極化場(chǎng)強(qiáng):3.0 kV/mm
o 保溫極化時(shí)間:30 min
4. 啟動(dòng)加熱,到達(dá)溫度后緩慢升壓
5. 極化結(jié)束保壓降溫至<50℃,降壓、斷電、取出樣品
6. 樣品去油清潔,室溫放置 24 h后測(cè)試
3. 壓電常數(shù) d33 測(cè)試(ZJ-3)
1. 開機(jī)預(yù)熱 30 min,用標(biāo)準(zhǔn)片校準(zhǔn)
2. 量程選 **×1 檔 **
3. 樣品置于測(cè)試頭中心,保證垂直受力
4. 輕按測(cè)試鍵,讀取穩(wěn)定數(shù)值
5. 每片測(cè)3 點(diǎn)取平均,記錄極性
4. 阻抗與機(jī)電參數(shù)測(cè)試(JKZC-YDZK03A)
1. 儀器開路 / 短路校準(zhǔn)
2. 樣品接入測(cè)試夾具,設(shè)置測(cè)試頻率:20 Hz–5 MHz
3. 啟動(dòng)掃頻,自動(dòng)獲?。?/span>
o 諧振頻率 Fs、反諧振頻率 Fa
o 自由電容 CT、介電常數(shù) εr
o 機(jī)電耦合系數(shù) kp
o 機(jī)械品質(zhì)因數(shù) Qm
4. 導(dǎo)出數(shù)據(jù)與曲線
四、典型測(cè)試結(jié)果(示例)
參數(shù) | 測(cè)試值 | 單位 |
d33 | 620–650 | pC/N |
εr | 3800 | — |
kp | 0.60 | — |
Qm | 65 | — |
Fs | 215 | kHz |
五、結(jié)論
本案例采用PZT-JH10/4 極化 + ZJ-3 測(cè) d33 + JKZC-YDZK03A 阻抗分析的標(biāo)準(zhǔn)流程,可穩(wěn)定、高效完成 PZT 系列壓電陶瓷的極化處理與全參數(shù)表征,數(shù)據(jù)滿足材料研發(fā)、工藝優(yōu)化、出廠檢驗(yàn)與科研論文使用
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