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CY-MSH270-I-RF-Q 分體式單靶磁控鍍膜儀

參考價(jià) 269500
訂貨量 ≥1臺(tái)
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 鄭州成越科學(xué)儀器有限公司
  • 品牌 CYKY
  • 型號(hào) CY-MSH270-I-RF-Q
  • 產(chǎn)地 鄭州
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間 2025/11/17 13:27:44
  • 訪問次數(shù) 169

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鄭州成越科學(xué)儀器有限公司位于鄭州市開發(fā)區(qū),是一家專業(yè)從事材料制備設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)和銷售為一體的高科技公司。重點(diǎn)專注于CVD石墨烯制備設(shè)備、熒光粉燒結(jié)設(shè)備、氧化鋯生物陶瓷燒結(jié)、納米材料制備、電池材料制備、陶瓷材料的微波燒結(jié)、稀有金屬的區(qū)域提純等研究發(fā)展方向。

鄭州成越科學(xué)儀器有限公司的研發(fā)團(tuán)隊(duì)?wèi){借自身在熱處理技術(shù)方面的專業(yè)知識(shí)和豐富的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn),先后研發(fā)出了多款材料制備設(shè)備。主要產(chǎn)品有:微波燒結(jié)爐、真空管式爐、箱式電阻爐、高頻感應(yīng)爐、氧化鋯燒結(jié)爐、熒光粉燒結(jié)爐、晶體退火爐、電池材料燒結(jié)爐、旋轉(zhuǎn)管式爐、立式管式爐、CVD管式爐等;

其他的產(chǎn)品還有:等離子清洗機(jī)、真空手套箱、真空干燥箱、環(huán)境模擬測(cè)試柜、行星球磨機(jī)、高純石英管、99剛玉管、真空法蘭等。

近年來,在社會(huì)各界的關(guān)心支持下,公司不斷發(fā)展壯大,與國(guó)內(nèi)外多所高校和科研單位建立起了合作關(guān)系;公司還聘請(qǐng)了多位國(guó)內(nèi)外重點(diǎn)高校的教授,博導(dǎo)為公司常年的技術(shù)顧問,他們時(shí)刻與國(guó)內(nèi)外學(xué)術(shù)界保持交流,出國(guó)訪問,并親臨一線指導(dǎo)產(chǎn)品的生產(chǎn)和研發(fā),使我公司的產(chǎn)品不斷完善,并緊跟世界研究熱點(diǎn),推出相關(guān)的新產(chǎn)品。產(chǎn)品遠(yuǎn)銷歐美、日韓等國(guó)家,并在國(guó)內(nèi)外市場(chǎng)獲得業(yè)界好評(píng)。

如果您正在被國(guó)貨的產(chǎn)品質(zhì)量所困擾,選擇我們將改變您對(duì)國(guó)貨的某些觀念;如果您正在為自己的實(shí)驗(yàn)方案的實(shí)施而茫然,選擇我們將有專業(yè)的技術(shù)團(tuán)隊(duì)為您量身定做!如果您正在為故障設(shè)備的售后無人理會(huì)而發(fā)愁,選擇我們一切的問題將由我們負(fù)責(zé)到底。鄭州成越科學(xué)儀器有限公司的誠(chéng)信、實(shí)力和產(chǎn)品質(zhì)量獲得業(yè)界的認(rèn)可。歡迎各界朋友蒞臨參觀、指導(dǎo)和業(yè)務(wù)洽談。







磁控濺射鍍膜儀,熱蒸發(fā)鍍膜儀,勻膠機(jī)旋涂?jī)x,熔煉爐,涂布機(jī),放電等離子燒結(jié)爐,靜電紡絲機(jī),金剛石線切割機(jī),RTP退火爐,晶體生長(zhǎng)爐,管式爐,CVD氣相沉積,氣氛爐,馬弗爐,熱解噴涂,等離子清洗機(jī),

產(chǎn)地類別 國(guó)產(chǎn) 價(jià)格區(qū)間 10萬-30萬
應(yīng)用領(lǐng)域 電子/電池,道路/軌道/船舶,鋼鐵/金屬,航空航天,汽車及零部件

            本設(shè)備為分體式單靶磁控鍍膜儀,可用于金屬薄膜的制備,在電子領(lǐng)域、光學(xué)領(lǐng)域、特殊陶瓷制備等領(lǐng)域均有應(yīng)用,也可實(shí)驗(yàn)室SEM樣品制備。
本套配置采用石英真空腔體,鍍膜過程全向可視,便于實(shí)驗(yàn)的觀察記錄,腔體設(shè)計(jì)開啟方便,易于清理,十分適合實(shí)驗(yàn)室使用。同時(shí)設(shè)備配有旋轉(zhuǎn)加熱樣品臺(tái),可以有效提高薄膜的均勻性和成膜的質(zhì)量。整機(jī)采用模塊化設(shè)計(jì),操作邏輯簡(jiǎn)單,操作界面直觀,利于上手。
設(shè)備的真空獲得系統(tǒng)采用兩級(jí)真空泵組,前級(jí)泵為大抽速機(jī)械泵,有效縮從常壓至低真空的時(shí)間,主泵為渦輪分子泵,抽速高,真空獲取速度更快。 整體真空獲得系統(tǒng)干凈快速。

分體式單靶磁控鍍膜儀技術(shù)參數(shù):


項(xiàng)目

明細(xì)

產(chǎn)品型號(hào)

CY-MSH270-I-RF-Q

供電電壓

AC220V,50Hz

整機(jī)功率

3KW

系統(tǒng)真空

≦5×10-4Pa

樣品臺(tái)

尺寸

150mm

加熱溫度

≤500℃

旋轉(zhuǎn)速度

1-20r/min

控溫精度

±1℃

磁控濺射頭

數(shù)量

2英寸 x1

冷卻方式

水冷

真空腔體

腔體尺寸

φ270mm X 200mm

觀察窗口

全向可視

開啟方式

頂蓋拆卸式

腔體材料

高純石英

真空系統(tǒng)

機(jī)械泵

CY240

抽氣接口

KF16

抽氣速率

1.1L/s

分子泵

CY600

抽氣接口

KF40

抽氣速率

600L/s

排氣接口

KF40

真空測(cè)量

電阻規(guī)+電離規(guī)

供電電源

AC;220V 50/60Hz

氣體控制

1路質(zhì)量流量計(jì)用于控制Ar流量,量程為:200SCCM

膜厚測(cè)量

可選配石英晶體膜厚儀,分辨率0.10 ?

控制系統(tǒng)

CYKY自研專業(yè)級(jí)控制系統(tǒng)

電源配置

直流電源數(shù)量

1臺(tái)

輸出功率

≤500W

輸出電壓

≤600V

響應(yīng)時(shí)間

<5ms

射頻電源數(shù)量

1臺(tái)

輸出功率

≤1000W

功率穩(wěn)定度

≤5W

測(cè)量精度

±0.5%

測(cè)量速度

100~1000ms

測(cè)量上限

50000






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