麥奇克（Microtrac）激光粒度儀SYNC在半導(dǎo)體行業(yè)中發(fā)揮著至關(guān)重要的角色，其應(yīng)用貫穿于從半導(dǎo)體制造到顯示技術(shù)、電子封裝以及新興電子材料研發(fā)的各個環(huán)節(jié)。

在半導(dǎo)體制造過程中，拋光漿料的粒度分布直接影響晶圓表面的平整度。麥奇克（Microtrac）激光粒度儀SYNC能夠精確測量拋光漿料中磨料的粒徑分布，確保其符合工藝的要求。通過監(jiān)測漿料的D10、D50、D90等關(guān)鍵參數(shù)，可以有效控制拋光質(zhì)量，減少表面缺陷。

化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）是半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵工藝。麥奇克（Microtrac）激光粒度儀SYNC可監(jiān)測CMP拋光漿料中顆粒的粒度變化，為工藝優(yōu)化提供數(shù)據(jù)支持。例如，通過調(diào)整漿料中磨料的粒徑分布，可以優(yōu)化拋光速率和表面質(zhì)量，提高產(chǎn)品良率。

麥奇克（Microtrac）的激光粒度儀SYNC采用靜態(tài)激光衍射法測量顆粒的大小及分布。采用專利的三激光設(shè)計（2個405nm波長的固體激光器和1個780nm波長的固體激光器），得到非常寬的測試范圍0.01-4000µm，覆蓋了從納米到毫米不同量級的顆粒測量。配備全自動濕法進(jìn)樣系統(tǒng)FLOWSYNC，可以實現(xiàn)全自動操測量和清洗，無需手動清洗。

本文采用麥奇克（Microtrac）的激光粒度儀SYNC來測量拋光液的粒徑及其分布。

激光粒度儀SYNC測量SiO2粒度及其分布

激光粒度儀SYNC測量CeO2粒度及其分布

從上述數(shù)據(jù)看，麥奇克（Microtrac）的激光粒度儀SYNC除了測量常規(guī)的微米級別顆粒，但由于其配置了2個405nm的激光器，提高了對亞微米顆粒測量的準(zhǔn)確性，能夠完全覆蓋納米級別的顆粒粒徑測量，而且數(shù)據(jù)的重復(fù)性也非常好，為半導(dǎo)體行業(yè)的客戶提供了最好的顆粒表征儀器。

• 激光粒度粒形分析儀

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